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第十一章 扫描电子显微镜 §11－1 电子束与固体样品作用时 产生的信号 电子束与固体样品作用时产生的信号示意图 入射电子 背散射电子 二次电子 特征X射线 俄歇电子 电子束 试 样 吸收电子或 感生电 样品电流 效应 透射电子 1.背射电子 背射电子是被固体样品原子反射回来的一部分入射电 子，其中包括弹性和非弹性背射电子。 弹性背射电子——只受原子核单次或很少几次大角度弹 性散射后被反射回来的入射电子，能量没有改变。 能量高的大约有几千～几万电子伏特。 非弹性背射电子——是入射电子和核外电子撞击后产生的 非弹性散射，不仅反方向有改变，能量也有不同程度的损失。 能量仅有几十～几千电子伏特 背散射电子来自样品表面几百纳米的深度，它的产额能 随原子序数的增大而增大，不仅能用于形貌分析，可以用于显 示原子序数衬度，定性地作为成分分析。 2.二次电子 在单电子激发过程中，被入射电子轰击出来的（样品 的）核外电子。 二次电子的能量比较低，一般小于50 eV ，大部分在 2 ～3 eV ， 习惯上把在样品上方检测到的能量低于50eV的自由电 子称为“真正”二次电子，高于50eV的电子叫做初级背散射 电子 二次电子一般都是在表层5 ～10nm 深度范围内发射 出来的，对样品表面形貌十分敏感，能十分有效地显示样 品的表面形貌，但不能用来进行成分分析。 3.吸收电子 随着入射电子与样品中原子核和核外电子发生非弹性 散射次数的增加，其能量和活动能力不断降低至最后被 样品所吸收。 如果通过一个高电阻或高灵敏度的电流表把样品接 地，在高电阻或高灵敏的电流表上将检测到样品对地的 电流信号，称为吸收电子或样品电流信号。 ι ( ι −)ι +ι a 0 b s ι —— 吸收电子产生的电流强度 a ι —— 入射电子的电流强度 0 ι —— 背射电子的电流强度 ι —— 二次电子的电流强度 b s 4.透射电子 如果样品的厚度比入射电子的有效穿透深度（或全吸收 厚度）小得多。将有相当数量的入射电子能够穿透样品而被装 在样品下方的电子检测装置所检测。叫做透射电子。 这里所指的透射电子是指直径很小（通常小于10nm ）的 高能 入射电子束照射样品微区时所产生的，因此这一信号强 度仅取决于样品微区的厚度、成分、晶体结构和位向。 入射电子激发的四种电子强度与入射电子强度关系 ι +ι +ι +ι ι b s a c 0 ι —— 入射电子的电流强度 0 ι —— 透射电子的电流强度 c ι —— 吸收电子的电流强度 a ι —— 背射电子的电流强度