电容式柔性压力传感器性能影响因素研究.pdfVIP

信息记录材料 2015年 第 16卷 第 5期 电容式柔性压力传感器性能影响因素研究 翟庆彬，莫黎昕 ，杨 威，朱冬严，陈鑫灿，耿 璐，李路海 (北京印刷学院 北京市印刷电子工程技术研究中心，北京 ，102600) 摘 要：近年来，电容式柔性压力传感器由于其较高的灵敏度而广泛应用于各种新型电子设备中，如：电子皮肤、 可穿戴电子设备、智能家居、人体体征监测等。本文设计并制备了具有 “三明治夹心”结构的电容式柔性压力传感器，并 对其性能影响因素进行了研究。该传感器以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性衬底，分别采用银纳米线(AgNWs)、银纳米颗 粒(AgNPs)、单壁碳纳米管(SCNTs)为电极材料，聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)和聚乙烯(PE)薄膜为介电 层，系统的研究了传感器不同封装方法、电极材料以及介电层对柔性压力传感器性能的影响。研究结果表明：采用 PDMS自封装方法制备的柔性压力传感器灵敏度及稳定性均优于胶黏剂封装方法所得器件。AgNWs为电极材料的柔性 压力传感器灵敏度明显高于AgNPs及SCNTs为电极材料的器件。通过电极微观形貌分析推断，相对疏松、无规的电极 结构有利于传感器灵敏度的提高。当传