原子力显微术轮廓仪的新方法研究和系统研制.pdfVIP

浙江大学顾士论文 摘 要 二十世纪八十年代以来，随着扫描隧道显微镜(酊M)和原子力硅微镜(AFM) 相继问世，纳米科技J卜给人类的生产生活带来深刻变革。在纳米检测方面，AFM 因为它突出的分辨率、广泛的适用性，诚为应用最广泛的检测仪器之一。但是 AFM的扫描范围有限，一般是几微米或十几微米。由于范围太小，导致它在很 多特定场合无法使用。在轮廓测量方面，各类表面台阶仪、光学轮廓仪也j_f=!广泛 应用于生产和科研之中。原理各不相同，种类也是不计其数。但是它们在分辨率、 稳定性等方面总是存在或多或少的问题，满足不了生产和科研的需求。针对越来 越多的纳米检测需求，研制了一套全新的原子力显微术轮廓仪(AFMProfiler)系 统。 AFM Profiler系统是一套新型的系统，目前国内外都很少有类似的产品。它 用步进电机实现样品与针尖的相对运动，将步进电机’jAFM相结合，进行大范 围高精度的纳米轮廓测量。它既具有AFM纳米级测量精度，又具有步进电机长 程扫描范围，系统稳定性好，操作简单，自动化程度高。