先进制造技术第二章精密和超精密加工技术解读.pptVIP

* * * * * 第二章 精密和超精密加工技术 精密和超精密加工定义 ◆ 瓦特改进蒸汽机时代 —— 镗孔精度 1mm 20 世纪 40 年代 —— 最高精度 1μm 20 世纪末 —— 精密加工：≤0.1μm，Ra ≤0.01μm（亚微米加工） 超精密加工：≤ 0.01μm ，Ra≤ 0.001μm（纳米加工） ◆ 微细加工 —— 微小尺寸的精密加工 超微细加工 ——微小尺寸的超精密加工 ◆ 精密加工 —— 在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到较高程度的加工工艺。 超精密加工 —— 在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到最高程度的加工工艺。 零件 加 工 精 度 表面粗糙度 激光光学零件 形状误差 0.1μm Ra 0.01～0.05μm 多面镜 平面度误差 0.04μm Ra ＜0.02μm 磁头 平面度误差 0.04μm Ra ＜0.02μm 磁盘 波度 0.01 ～0.02μm Ra ＜0.02μm 雷达导波管 平面度垂直度误差 ＜ 0.1μm Ra ＜0.02μm 卫星仪表轴承 圆柱度误差 ＜0.01μm Ra ＜0.002μm 天体望远镜 形状误差 ＜ 0.03μm Ra ＜0.01μm 几种典型精密零件的加工精度 单晶金刚石飞铣加工的激光系统用KDP 晶体(长宽420mm，厚10mm，粗糙度2nm rms) LODOM 加工的美国宇航局用的抛物面镜，最终形状误差150nm 几种典型精密零件的加工精度 普通加工 精密加工 超精密加工 超高精密磨床 超精密研磨机 离子束加工 分子对位加工 车床,铣床 卡尺 加工设备 测量仪器 精密车床 磨床 百分尺 比较仪 坐标镗床 坐标磨床 气动测微仪 光学比较仪 金刚石车床 精密磨床 光学磁尺 电子比较仪 超精密磨床 精密研磨机 激光测长仪 圆度仪轮廓仪 激光高精度测长仪 扫描电镜 电子线分析仪 加工误差（μm） 100 101 102 10-2 10-1 10-3 1900 1920 1940 1960 1980 2000 年份 精密加工与超精密加工的发展（Taniguchi，1983） 精密与超精密加工技术是一个国家制造业水平重要标志 例：美国哈勃望远镜形状精度0.01μm；超大规模集成电路最小线宽0.1μm，日本金刚石刀具刃口钝圆半径达2nm 精密与超精密加工的地位 美国哈勃望远镜 光纤数据传输设备中的微光学元件，包括精密镜片、激光及光纤 显微镜下看到的一个芯片的局部 精密加工与超精密加工技术是先进制造技术基础和关键 例：美国陀螺仪球圆度0.1μm，粗糙度Ra0.01μm，导弹命中精度控制在50m范围内； 英国Rolls-Royce公司报道，飞机发电机转子叶片加工误差从60μm降至12μm，发电机压缩效率从89%提高到94%； 齿形误差从3-4μm减小1μm，单位重量齿轮箱扭矩可提高一倍 精密与超精密加工的地位 精密加工与超精密加工技术是先进制造技术基础和关键 精密与超精密加工的地位 参数与性能 分类名称 单元芯片上的单元逻辑门电路数 单元芯片上的 电子元件数 最小线条宽度 μm 小规模集成电路 ＜10～12 ＜100 ≤8 中规模集成电路 12～100 100～＜1000 ≤6 大规模集成电路 ＞100～＜104 1000～＜106 3～6 超大规模集成电路 ≥104 ≥105 0.1～2.5 减小电路微细图案的最小线条宽度是提高集成电路集成度的技术关键 精密加工与超精密加工技术是新技术的生长点 精密与超精密加工技术涉及多种基础学科和多种新兴技术，其发展无疑会带动和促进这些相关科学技术的发展 精密与超精密加工的地位 新型硅片加工方法 硅片加工的传统工艺流程 加工费用与加工精度的关系 通常随着加工精度的提高成本也将增加，但合理地选择和应用超精密加工方法能达到更好的效果 精密与超精密加工分类 结合加工 分类 加工机理 加工