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空气退火对ZnS薄膜结构与光学特性的影响.pdf
4 1 1 人 工 晶 体 学 报
第 卷 第 期 Vol． 4 1 No． 1
2012 2 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS February ，2012
年 月
空气退火对ZnS 薄膜结构和光学特性的影响
， ， ， ，
于 威 高 卫 吴艳华 滕晓云 傅广生
( ， 07 1002)
河北大学物理科学与技术学院 保定
: X 、 ZnS 。
摘要 采用 射线衍射 扫描电子显微镜和光致发光等技术研究了空气退火对 薄膜的结构和光学特性的影响
500 ℃ ， ZnS 。 550 ℃ ， ZnO
薄膜在 以下退火后结晶质量得到改善 仍呈 立方相结构 退火温度达到 时 薄膜中出现 六
。 ， ， ZnS-ZnO 。 ， ，
方相结构 薄膜退火后 大气中的氧掺入薄膜中 出现 复合层 随退火温度升高 薄膜晶粒尺寸增大 透
， ZnO 。 ， ZnS ZnO
过率增加 带隙逐渐接近 带隙 薄膜光致发光结果表明 复合层内 和 绿色发光的叠加替代了来自
ZnS 缺陷能级间的绿色发光。
:ZnS ; ;
关键词 薄膜 退火 光致发光
中图分类号:O484 文献标识码:A 文章编号:1000-985X (2012)01-0059-05
Influence of Annealing in Air on the Structure and
Optical Properties of ZnS Films
YU Wei ，GA O Wei ，WU Yan-hua ，TENG Xiao-yun ，FU Guang -sheng
(College of Physics Science and Technology ，Baoding 07 1002 ，China)
(Received 13 Sep tember 20 11，accep ted 7 November 20 11)
Abstract :The effects of annealing in air on the structure and optical properties of ZnS films were
characterized by X-ray diffraction ，scanning electron microscopy and photoluminescence ，etc． The results
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