集成电路设计制造中eda工具实用教程清晰版.pdfVIP

_U V Htf m 集成电路是电子工业的基础。以集成电路为基础的电子信息产业的发展，对国民经济、现 代国防及产业技术创新能力的提升都具有极其重要的作用。随着固体物理、半导体工艺与电 子技术三者交叉的新兴学科—— “ 微电子学 ” 的快速发展，i c 技术和计算机技术的不断进步， 集成电路的研发手段也经历了从手工到计算机辅助设计 （C A D )和计算机辅助工程 （CAE )阶 段，在 2 0 世 纪 9 0年 代 开 始 逐 步 发 展 到 电 子 设 计 自 动 化 （Electronics Design Automation, E D A )阶段。E D A 工具巳经成为当今集成电路设计和制造流程中必不可少的手段，涵盖了工 艺、器件、版图、电路、系统等多层次的设计、验证环节。 技术进步伴随着设计复杂性的增加，导致了 E D A 工具的功能也越来越复杂，这对集成电 路设计工程师和科研人员提出了更高的要求。他们不但要有足够的数学、物理、器件、工艺、电 路和系统的知识，还要投入相当的精力来学习熟悉 E D A 工具和系统的使用。不 同 E D A 工具 提供的手册因其系统的繁复性以及不是用母语编写，会给没有相应经备指导的初学者带来较 大的困难。 已经出版的E D A 教程书籍大多是关于电子系统应用或者是针对超大规模集成电 路的设计方法学而编著的，针对模拟集成电路设计以及器件、工艺设计的书籍却很少。因此业 界急需一本有关集成电路设计和生产相关的E D A 工具及其使用的指导性教程。基于这个原 因，根据作者多年的集成电路设计和E D A 工具使用经验，编写了本教程。书中结合不同的设 计实例和设计流程来介绍相应的 E D A 工具及其使用方法。 本教程共 17章 ，分为三个部分。第一部分介绍半导体工艺和半导体器件仿真工具，分别 介绍 了 Synopsys 公司的 TSUPREM4/MEDIC 1，ISE TCAD 和 Silvaco 公司的 Athena/Allas 等 T C A D 工具及其使用，并 以 E SD 静电放电防护器件的设计及验证为实例介绍这些软件工 具的应用。第二部分介绍了模拟集成电路设计工具的应用，辅 以 典 型 模 拟 1C 电路的设计实 例，以 Cadence设计流程中的工具为主，同时也介绍了业界常用的 Synopsys的 Hspice电路仿 真工具和 Mentor Graphics的 Calibre版图验证工具。第三部分为数字集成电路的设计工具 使用教程，分别介绍了用 M atlab进行系统级验证、用 ModelSim 和 NC-Verilog进 行 H D L 描 述和仿真、用 Xilinx IS E 进 行 F PG A 验证设计、用 Synopsys的 Design Compiler工具进行逻 辑综合以及使用 Cadence的 S E 和 SOC Encounter进 行 1C 后端设计等。最后介绍了可测性 设计的基本概念和流程。 本书出版前的讲义是作为浙江大学微电子专业研究生学位课程“ 集成电路课程设计”的专 用教材，多年来不断积累并更新完善。本书在写作方式上，尽量从应用的角度引导读者学习掌 握软件的使用，选取了典型的工具，每部分的主体设计流程均经过了 1C设计、流片和测试的验 证，所选择的例子也都取自实际的科研项目，具有一定的代表性和实用性。本书可以作为微电 子及相关专业研究生和高年级本科生的集•成电路课程的参考教材，也适合于作为从事 1C 系 统、电路、器件、工艺等方面工作的科研人员和工程师的参考手册。 全书由韩雁教授负责统稿审稿与定稿；洪慧和周海峰主持编写了本书的第一部分内容，马 2 集成电路设计制造中E D A 工具实用教程 绍字主持编写了第二部分 霍明旭和黄小伟主持编写了第三部分。本书在编写过程中得到了 浙江大学微电子所众多师生的大力帮助，其中陈金龙、陈磊、蔡友、陈茗、付 文 、崔强、张艳、黄大 海 、杜晓阳、曾才赋、杜字禅、斯瑞裙、彭洋洋、张吉皓等，在文献整理、实例仿真、章节撰写、文稿 录入、图表编制等方面做了大量工作；本书在整体编写的过程中也参考了大量的文献资料手 册 ；本书的出版还得到了浙江