Chapter 2-2 硅晶体结构和微观力学解析.ppt

许多MEMS元件呈薄板或梁的形状，热应力分布的封闭解。 在下图定义了三维固体在静力平衡状态下的应力和相应的应变分量。沿着x、y、z方向的位移分别被表示为 、 和 。 薄板中沿厚度方向的温度变化导致的热应力 图描述了一个笛卡尔坐标系定义的任意形状的薄板。假设该平板承受平面应力，这意味着在承受沿厚度方向的温度变化时，有如下情形： 热应力： 热应变： 位移分量： （4-52b） ，x方向 （4-53a） ，y方向 （4-53b） ，z方向 （4-53c） 法向热力 和热力矩 根据温度函数 表示为： （4-54a） （4-54b） 其中， 是热膨胀系数， 是杨氏膜量， 是材料的泊松比。 温度沿厚度方向变化的梁中的热应力 如图梁的横截面积 相应的惯性矩为 。 弯应力是我们关心的主要应力分量： 相应的应变分量为： 沿x方向的位移分量为： 沿z方向的位移分量为： 由热力引起的法向力和弯矩( 和 ) 弯曲梁的曲率按照下面方程计算： 其中， 为弯曲梁的曲率半径。 * * 注意:这里和传统工程/材料力学追求不一样的地方 * 结合mems的设计\制造\材料高度一体化的特点,由此例子发散开来, 结合视频 * 注意:这里又是一个和传统机械振动中不一样的地方 * * 提问为何用梁取代弹簧？制造因素 * 抽象与计算过程原理 * 注意区别 * 通过微加速度计例子来复习和梳理前面所学知识 * 设计微星加速度计,小h可以获得更灵敏的输出 当系统接近共振时，即 时，式中的振幅 。 由于h与阻尼效应有关，h=0时的自由振动将导致质量块的振幅无限大。 阻尼参数h的选择在加速度计的设计中至关重要 阻尼对质量块振幅的影响如图，可以看出，当 时，最大相对振幅近似等于测振的最大振幅；当 时，有以下关系： 其中， 是加速度计所附着的机械的最大加速度。 加速度计的振幅 加速度计的设计流程 确定目标最大振动振幅，X方向初始位置； 确定预期振动频率ω。 选择参数：m，k，c； 计算ωn及h。 检查Z值太小，无法被 内部换能器测量 检查Z值是否在内部换能器测量 范围内（压阻式/压电式…） 计算质量块的相对运动的最大 振幅值（使用前述公式） 结束 否 是 加速度计的设计 弹簧质量块阻尼器 其中，E = Young’s模量; I =梁截面的惯性矩； M是连接在梁上测振质量块的质量，梁本身的质量被忽略. 微加速度计经常用简单的梁取代螺旋弹簧，因此有必要计算这些梁的“等效弹簧常数”。 加速度计的设计 梁最大挠度 等效集中载荷 微加速度计 材料的弹簧常数 上述仅是一个简单的近似值，因为很多微加速度计是由悬挂在悬臂平板而不是梁上的质量块组成，由简单梁理论得到的等效弹簧常数不适用于这些情况。 一种硅微加速度计由一个连接到悬臂平板上的检测质量构成。质量M的位移、振动膜的加速度、振动膜的应变都与压电电阻相关（利用扩散工艺制作在悬臂板根部）。 其中，E = Young’s模量；I =梁截面的惯性矩； M是连接在梁上测振质量块的质量，梁本身的质量被忽略. 加速度计的设计 末端固支 末端简支 梁质量, m 支座 m 梁式弹簧 刚性杆 梁质量 梁式弹簧Beam springs 支座 梁式弹簧 m 梁的质量 “A” “A” 600 μm 700 μm 1 μm 5 μm 截面 “A-A” 计算力平衡微加速度计固有频率的例子 末端简支 末端固支 假定加速器梁采用的是末端固支方式，那么微加速度计的运动方程可写为: 代入边界条件: 初始位移 初始速度 梁的质心瞬心位置: 代入t=1ms=1E-3s时，偏离平衡位置位移为： 2.4 阻尼系数 1、压膜阻尼——阻尼流体被振动质量压缩的微加速度计。 2、剪切阻尼——各种形式的微加速度计，阻尼系数都能从下面的关系式得到。 阻尼系数对机械振动系统的物理行为有很重要的影响。 阻尼是一种形式的阻力，由振动质量表面和周围流体的摩擦引起。在微加速度计设计中，阻尼以两种截然不