显影台技术方案.doc

显影清洗台制作方案 一、总述： 序号 名称及规格 数量 单位 备注 一 整机部分 1 整机 一、整机材料：10mm厚优质pp板，约2000（长）X1400mm（宽）X2000mm（高）。 二、设备主体分4个工作区：（1）工艺槽工作区。（2）排风区。（3）水电气控制区。（4）阀箱区。 三、排风系统：（1）设备后部多个条状孔排风孔，手动调节挡风板可调节排风量。（2）台面板开有多个ф8mm孔，用于底部排风与水清洗工作台面的排液。（3）设备主排风有一个ф200mm排风管。（4）排风量： 1500m3/h=3000 m3/h。KW， AC220V；排水口径φ60，上水口径φ25，2.5Kg/Cm2,气体接口3/8〞5Kg/Cm2。 2 控制系统 操作面板位于设备前上部，人机界面、控制按钮及主要显示仪表设置其上。 2、电气系统采用日本OMRON公司PLC实现控制功能。用户可根据需要，通过触摸屏对整机工艺实现设置和控制。设备的控制系统可随时提供设备的工作状态显示，并具备历史记 1 套 二 槽体部分 1 化学槽 见详细描述 2 套 适用4英寸1篮25片 2 QDR清洗槽 见详细描述 4 套 去离子水 适用2英寸2篮，每篮25片或4英寸1篮25片 三 辅助系统 1 水枪 美国进口，枪体材质为铁氟龙 2 只 接去离子水 2 氮气枪 美国进口，枪体材质为铁氟龙 2 只 高纯氮气 二、详细描述： 台面由8个功能槽组成，1#~4#槽为不锈钢常温槽（后面带搅拌机构），5#~8#槽为QDR冲洗槽。 1、1#-4#不锈钢常温槽（带搅拌机构） 槽体描述：不锈钢常温槽的结构如下图所示，主要由不锈钢槽、托板、排放口、管路和管件等组成。 不锈钢常温槽结构及示意图 槽体材质：SUS316L。 内槽有效尺寸：长×宽×高 = 250 L（mm）×250 W（mm）×250 H（mm）。 化学液：显影液。 液体温控： 常温。 抖动装置：槽体后面带片盒搅拌机构，伸到槽体材质：PTFE材料。抖动装置均由调速电机驱动，抖动频率10-60次/min连续可调，振幅为30mm，搅动装置结构示意图见下图。 抖动装置结构示意图 人工加药。 电磁阀排药。 配槽盖（SUS316L）。 2、5#-8#QDR槽 QDR快排冲洗槽的结构如下图所示，主要由喷淋槽、溢流槽、匀流板、快排汽缸体、喷嘴喷管、管路和管件等组成。基本流程 : 放入工件→开始喷淋,同时快排阀打开→底部注水，同时快排阀关闭，氮气鼓泡打开→溢流漂洗＋氮气鼓泡→快排阀打开，快速排放，一次冲洗快排工艺结束。在QDR 槽体溢流部设水阻计，时时监控水质。各功能的运行时间及次数可编程控制。 槽体描述：槽体由进口NPP板材焊接加工而成。QDR槽由安装在槽体底部的快排汽缸、 底部DI水注入孔及顶部左右两侧的DI水喷嘴实现槽体的快速注入与排放，有氮气鼓泡功能。QDR槽用来实现刻蚀后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗去除，具有喷淋、溢流、氮气鼓泡等功能，各功能的运行时间及次数可编程控制。 槽体内口有效尺寸：长×宽×高 = 200（mm）×200（mm）×200（mm）。 注入时间：≤60秒（DI水压力为2～3Kg）。 排放时间：≤6秒。 在溢流排放口安装有DIW电阻率检测仪，可队冲洗溢流的水质适时检控；电阻率检测 仪型号为：台湾SUNTEX生产的EC430。 槽体内安装带网眼的匀流板一个，用来承载花篮以及均匀流场。 槽盖：采用透明PVC槽盖，槽盖可以竖直悬挂在槽的旁边。 匀流板 溢流槽 喷淋槽 N2 DI QDR快排冲洗槽结构及示意图 氮气鼓泡控制 喷淋、溢流控制 快排汽缸 DIW喷淋 溢流快排两用结构 电阻率检测 溢流排放