原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
大气压等离子体辅助多晶硅薄膜化学气相沉积参数诊断.pdf
59 4 2010 4
第 卷第 期 年 月 物 理 学 报 Vol. 59 ，No. 4 ，April ，2010
1000-3290 / 2010 / 59 (04)/2653-08 ACTA PHYSICA SINICA 2010 Chin. Phys. Soc.
大气压等离子体辅助多晶硅薄膜
化学气相沉积参数诊断*
刘莉莹 张家良 郭卿超 王德真
( ， 116023)
大连理工大学物理与光电工程学院 大连
(2009 6 13 ;2009 8 25 )
年 月 日收到 年 月 日收到修改稿
Ar 、SiCl H (Ar / SiCl / H )
本文采用发射光谱法诊断了大气压下 气 及 气混合气体 射频放电等离子体射流特
4 2 4 2
. Si Si ，
性 利用 原子谱线强度计算了电子激发温度并以此估算了 原子数密度 研究了射频功率及气体流量对电子激
Si SiCl .
发温度和 原子数密度以及 4 解离率的作用
: ， ， ，
关键词 大气压等离子体射流 发射光谱 电子激发温度 多晶硅薄膜沉积
PACC :5270K
放电等离子体射流增强化学气相沉积多晶硅薄膜
. ，Si
1. 引 言 的工艺研究 在沉积过程中 原子的数密度和能
量对薄膜的结构具有决定性影响，因此本文利用发
、
提高太阳能电池的转换效率 降低生产成本一 Si
射光谱方法分析 原子的数密度和电子激发温度
直是太阳能电池板工艺研究的目标. 从单晶硅太阳 ，
对放电参数的依赖关系 目的是寻找最佳的沉积
、
能电池到如今大规模应用的非晶硅 多晶硅及薄膜 参数.
，
太阳能电池 工艺的每一次技术进步都是追求上述
. 多晶硅薄膜太阳能电池因其硅耗量
目标的结果 2. 实 验
， ，
小 又无非晶硅薄膜电池的效率衰减问题 并且可
，
能在廉价基材上制备 其成本预期远低于单晶硅电
文档评论（0）