硅球密度绝对测量.pdfVIP

2012 年 第 57 卷 第 15 期： 1281 ~ 1289 《中国科学》杂志社 特邀评述 SCIENCE CHINA PRESS 硅球密度绝对测量 ① ① ② ① 罗志勇 , 赵克功 , 张继涛 , 陈赤 ① 中国计量科学研究院, 北京 100013; ② 清华大学精密仪器与机械学系, 北京 100084 E-mail: luozhy@ 2011-12-29 收稿, 2012-03-15 接受 国家科技支撑计划(2006BAF06B06)资助 摘要 单晶硅球密度的绝对测量是阿伏加德罗常数测量的关键技术, 是目前国际热点研究 关键词 领域. 本文综述了包括我国在内的国际单晶硅球密度测量的最新进展, 涉及硅球密度测量的 阿伏加德罗常数 技术原理、测量领域、影响因素、测量装置及最佳测量能力等, 分析了硅球密度测量的主要 硅球密度 难点和关键技术, 预测了相关研究的技术前景及发展趋势. 相移干涉法