第4章传感器与微机电系统概论.pptVIP

物联网导论 薛 燕 红 编著 xueyanhong999@163.com 目 录 目 录 第4章 传感器与微机电系统 4.1 传感器技术 4.1.1 传感器概述 4.1.2 传感器的定义和组成 4.1.3 传感器的作用和分类 4.1.4 传感器的特性参数 4.1.5 新型传感器介绍 4.2 微机电系统 4.2.1微机电系统的基本概念 4.2.2微机电系统分类 4.2.3微机电系统的发展前景 4.2.4微机电系统的特点和相关技术 4.2.5 微机电系统的发展趋势 4.1 传感器技术 传感器技术是现代科技的前沿技术，是现代信息技术的三大支柱之一，其水平高低是衡量一个国家科技发展水平的重要标志之一。传感器产业也是国内外公认的具有发展前途的高技术产业，它以其技术含量高、经济效益好、渗透能力强、市场前景广等特点为世人瞩目。 3.2.1 传感器概述 1. 概念 人是通过视觉、嗅觉、听觉及触觉等感官来感知外界的信息，感知的信息输入大脑进行分析判断（即人的思维）和处理，再指挥人作出相应的动作，这是人类认识世界和改造世界具有的最基本的本能。但是通过人的五官感知外界的信息非常有限，例如，人不能利用触觉来感知超过几十甚至上千度的温度，也不可能辨别温度的微小变化，这就需要电子设备的帮助。同样，利用计算机控制的自动化装置来代替人的劳动，那么计算机类似于人的大脑，而仅有大脑而没有感知外界信息的“五官”显然是不足够的，中央处理系统也还需要它们的“五官”，即传感器。 4.1 传感器技术 2. 传感技术的重要性 传感技术是一门集敏感材料科学、传感器技术及系统、微机电加工技术、微型计算机技术及通信技术等多学科相互交叉、相互渗透而形成的一门新型的工程技术，它是现代信息技术的重要组成部分。 传感技术与通信技术和计算机技术构成了现代信息技术的三大支柱，“没有传感器就没有现代科学技术”的观点已为全世界所公认。以传感器为核心的检测系统就像神经和感官一样，源源不断地向人类提供宏观与微观世界的种种信息，成为人们认识自然、改造自然的有利工具。 3. 传感器的特点和发展趋势 传感技术是涉及传感器原理、传感器件研发、设计、制造、应用的一门专门用于信息检测与转换的应用技术。传感技术具有知识密集性、功能智能性、测试精确性、品种庞杂性、内容离散性、工艺复杂性和应用广泛性等特点。 4.1 传感器技术 3. 传感器的特点和发展趋势 目前，传感技术正朝着集成化、微型化、数字化、智能化和仿生化方向发展。 （1）使用新技术、新材料的传感器 传感器工作的基本原理是建立在人们不断探索与发现各种新的物理现象、化学效应和生物效应以及具有特殊物理、化学特性的功能材料的基础上的。因而，发现新现象、反应、材料，研制新特性、功能的材料是现代传感器的重要基础，其意义也极为深远。 （2）集成传感器 集成传感器是新型传感器重要发展方向之一。微加工技术可将敏感元件、测量电路、放大器及温度补偿元件等集成在一个芯片上，这样不仅具有体积小、重量轻、可靠性高、响应速度快、稳定等特点，而且便于批量生产，成本较低。 （3）智能传感器 ●自补偿功能。 ●自诊断功能。 ●自校正功能。 ●数据自动存储、分析、处理与传输。 ●微处理器、微机和基本传感器之间具有双向通信功能，构成一个闭环系统。 4.1 传感器技术 3.2.2 传感器的定义和组成 1. 传感器的定义 （1）国家标准GB7665-87对传感器的定义：能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成。 （2）定义：传感器是一种能把特定的信息（物理、化学、生物）按一定规律变换成某种可用信号输出的器件和装置。 （3）通俗理解：能把外界非电量信息量转换成电量输出的器件。 该定义包含了以下几个方面的含义： （1）传感器是测量装置，能完成检测任务。 （2）它的输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等。 （3）输出量是某种物理量，这种量要便于传输、转换、处理、显示等，这种量可以是气、光、电，但主要是电量。 （4）输入输出有对应关系，且应有一定的精确度。 4.1 传感器技术 2. 传感器的组成 传感器一般由两个基本元件组成：敏