光电子技术第18课.pptVIP

光电子技术第十八课 王炜路 TelQQEmail：wlwang@ecit.cn * 精彩回顾 CMOS摄像器件 1990’s，CMOS技术用于图像传感器，其优点结构简单，耗电量是普通CCD的1/3，制造成本比CCD低，可将处理电路等完全集成。 1、CMOS像素结构 无源像素结构，1967，Weckler 无源像素单元具有结构简单、像素填充率高及量子效率比较高的优点。但是，由于传输线电容较大，CMOS无源像素传感器的读出噪声较高，而且随着像素数目增加，读出速率加快，读出噪声变得更大。 无源像素型（PPS）和有源像素型（APS） 由一反向偏置光敏二极管和一个开关管构成，开关管开启，二极管与垂直列线连通，信号电荷 读出。 有源像素结构APS（Active Pixel Structure ) 光电二极管型有源像素（PP－APS）1994，哥伦比亚大学 在像元内引入放大器，可改善像元性能，称为有源像素传感器。功耗小，量子效率高。每个像元有3个晶体管。 光栅型有源像素结构（GP－APS） 光栅型有源像素型CMOS每个像素5个晶体管，采用0.25um CMOS工艺允许达到5um像素间距，成像质量高。 1997年，东芝公司研制成功640*640像素光敏二极管型CMOS APS，像素尺寸5.6um*5.6um，具有彩色滤色膜和微透镜阵列。