材料分析方法 哈尔滨工业大学 周玉 原子力显微镜.pptVIP

§12.2 原子力显微镜(AFM) 原子力显微镜(AFM)也称扫描力显微镜，是针 对扫描隧道显微镜不能直接观测绝缘体表面形貌 的问题，在其基础上发展起来的又一种新型表面 分析仪器。 一.结构 A是AFM待测样品，B是AFM针尖，C是STM 的针尖，D是微杠杆(悬臂梁)，又是STM的样品。 E为使微杠杆发生周期振动的调制压电晶体，用 于调节隧道间隙。样品A固定在三维压电晶体驱 动器(图中用AFM SF表示) 上，由驱动器进行x、 y扫描和z方向控制。两者都装在绝缘体 (氟橡 胶)F上，并固定在金属框架上。 AFM工作原理图 AFM针尖B在试样表面扫描时，由于试样表面不平，针尖原子与试样表面原子的间隙不断变化，原子间作用力变化。如试样与杠杆间作用力为F1时，对应杠杆向试样倾斜△Z，STM对应一隧道电流I0,当STM的PZ（控制STM针尖Z方向的压电陶瓷）不动，使AFM样品沿X(Y)方向移动，试样表面凸起， △Z↓，排斥力↑，杠杆右倾，STM隧道间隙S ↓,隧道电流↑，反馈AFM的Z方向压电晶体VZ ↓，样品右移。这样试样在杠杆针尖表面XOY扫描时，可记录试样表面各点的 （VXVYVZ)→XYZ, 获试样表面轮廓图。 二.工作原理 AFM 以STM作位移仪 试样与杠杆探针原子间作用力代替STM的隧道电流 STM作恒流仪，使