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扩散炉常见故障及维护 48所扩散炉 TEMPRESS基本结构 1.DTC 7. Furnace，Spike 2.DPC 8. Power supply 3.DMC 9. Bubbler system 4.Touch screen 10.温控装置 5.Paddle 11.Fan 6.Gas DTC 数据处理模块 DPC ---整个炉管数据的处理 DMC Furnace Spike  Bubbler system 起给POCL3加热保温作用，一定要用1.5升的标准瓶 自动温控器装置 可以设定最高温度，控制炉管过温 Fan 伺服单元的设置 目的:当出现boat fused的警报或各伺服系统不正确运动时,我们需要对DMC (digital motor controller)进行初使化.当炉管在每次清洗后,为了避免因炉管位置的变动导致DMC错误,要求在每次装管时对DMC进行初使化. 步骤:一.清除CPU模块内存 1.将桨的位置定在home位(舟出) 2.等侍炉门关闭 3.将自动、手动开关设为手动模式 4.将CPU模块旋转开关转到0位 5.关闭该炉管的控制电源 6.等待至少10秒钟 7.打开控制电源 8.等待至少10秒钟 9.再次关闭该炉管的控制电源 10.将CPU模块旋转开关转到7位 11.打开控制电源 这时,当DMC模块启动后,在Servo driver status界面，三个伺服电机的“Position Valid”和“Calibrated”均显示为NO 1－CPU模2－电机驱动单元3－Interface板 二．各个伺服单元位置的校正 1.当清除CPU模块内存后,扩散炉会自动自动执行校准，炉门和桨的上升下降伺服电机会自动运行，确认当前的位置, 这时door和haight两个伺服电机的“Position Valid”和“Calibrated”均显示为YES. 2.当炉门同桨上升下降位确认后,请确认桨是否有前进,如果没有,请选择第九号test程序. 3.将test程序桨的到达位置更改为2550mm, 执行该程序．炉门会自动打开并且桨会起进入炉管内，到达end sensor位置.完成程序． 4.将test程序桨的到达位置更改为10mm，执行该程序．桨将返回home sensor位置，炉门关闭，完成loader位置的校准． 在校正完成后，请确认所有“Position Valid”和“Calibrated”的值均应该显示为YES. 排气压力控制设定 1.Check facility exhaust pressure to be better than -150Pa(or 15mm H2O) 2.Check certifications are set to *EXHAUST with range -200 to +800 Pa for the desired analogue channel 3.Check *EXHAUST MFC interlock is set to atm/pressure 4.Check PID values (P=50 I=30 D=0.8) 5.Check certifications are set for internal pressure control in DPC tube configuration 6.Give the pressure control a setpoint of -200pa 7.关闭给Baratron供应氮气的阀门 8.关闭所有的气体流量 9.打开炉门 10.调节Baratron上的zero,在屏幕上观察压力数值变化，使其读数为-2pa 11.调节给Barareon供应氮气的节流阀，使其读数显示为+1pa 12.关闭炉门 保压设定 当炉管清洗并且安装完成后,重新对DMC初使化,在初使化完成后,需要对炉管的密封性进行检测. 选择TEST程序,设置当前氮气流量为6SLM, 将排气压力设置为5Pa, 在炉门完全关闭后,运行该程序. 这时,炉内压力会逐渐 升高，并且维持在5Pa． 如果压力无法保持稳定 或低于当前设定值，表 示炉管密封性不好，需 要重新检测所有接口， 各路阀门以及炉门情况． * * 检查随温度升高，加热区的输入功率是否正常，如果有波动，可让工艺做profiling 检查Spike TC是否与炉管接触良好 部分制程中Paddle TC温度偏高或偏低 4 检查气路流量计是否工作正常 检查气路阀气是否损坏 检查气路阀的气路气管或接头是否漏气 各气路流量异常 3 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大 检查进入炉管的氮气气管或接