电子显微镜在机械制造业中的应用解决方案.ppt

电子显微镜在机械制造业中的应用 绪论 1 扫描电镜的工作原理与仪器构成 2 扫描电镜的性能特点 3 扫描电镜在机械制造业中的应用 4 总结与展望 5 内容大纲 SEM的发展历史 SEM的研究现状 SEM的发展问题 SEM的工作原理与仪器构成 ②电压加速，磁透镜系统会聚，形成直径为50纳米的电子束。 ④探测器收集信号电子，经过放大、转换，在显示系统上成像。 ③电子束在偏转线圈作用下，在样品表面做光栅状扫描，激发多种电子信号。 ⑤二次电子的图像信号“动态”地形成三维图像。 ①电子枪发射直径约为50微米的电子束。 1 2 3 真空系统与电源系统：提供电源，防止样品污染。 信号收集处理系统：电子收集器、检测器与显示系统。 电子光学系统：电子枪、电磁透镜、扫描装置、样品室。 扫描电镜的实物图 主要影响因素：电子束实际直径与信号噪声比。 01 电子束在荧光屏上最大扫描距离与其在试样上最大扫描距离的比值。 02 在景像平面上，能够得到清晰图像的最大距离与最小距离之差。 03 扫描电镜的性能特点 分辨率 放大倍数 景深 一 断口分析 01 二 表面形貌分析与深度检测 02 三 结构与非金属夹杂物检测 03 扫描电镜在机械制造业中的应用 解理断裂：正应力作用在某种材料之后使得材料按照一定的结晶学面发生的分离。 准解理断裂：经常出现于淬火加低温回火的马氏体钢中，发生在脆性转折温度附近。 韧窝断裂也称延性断口，具有延性的特征，可看出明显的塑性变形。 疲劳断裂是指在交变应力的作用下超出材料的疲劳极限所造成的断裂。 01 02 03 04 断口分析 几种常见的断裂图像 解理断口 准解理断口 韧窝断裂 疲劳断裂 几种常见的断裂图像 仪器在使用过程中，环境等因素会对其金属配件造成的氧化、侵蚀，为减少腐蚀，需要在金属表面镀层或涂层。 涂层一般很薄，由于光学显微镜自身的局限，对表面的检测与分析具有一定的困难，而对于显微镜来说却是件简易的事。 涂层镀层表面的形貌分析与深度检测 结构与非金属夹杂物检验 在机械制造业中，微观结构的小瑕疵等原因，往往会导致钢体的结构部件的断裂。 非金属夹杂物的数量和类型对钢的韧性、拉伸强度或者疲劳极限等性能具有显著的影响。 利用扫描电镜均可完成对结构与非金属夹杂物的检验。 结语 SEM 优点 用途 展望 谢谢观赏 * * * *