电容式传感器.讲解.ppt

传感器原理与应用 第4章 电容式传感器 第4章 电容式传感器 电容式传感器是把被测量的变化转换成电容量变化的一种传感器。 电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于压力、差压、液位、物位或成分含量等方面的测量。 第4章 电容式传感器 优点：①功率小、阻抗高；②静电引力小、动态特性良好；③和电阻式传感器相比，电容式传感器本身发热影响小；④可进行非接触测量；⑤结构简单，适应性强，可在温度变化比较大或具有各种辐射的恶劣环境中工作。 缺点：①输出具有非线性；②寄生电容往往降低传感器的灵敏度。 第4章 电容式传感器 4.1 电容式传感器的工作原理和结构 4.2 电容式传感器的主要特性 4.3 电容式传感器的测量电路 4.4 影响精度的因素及提高精度的措施 4.5 容栅式传感器 4.6 应用举例 4.1 电容式传感器的工作原理和结构 1.工作原理 如图所示的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为 4.1 电容式传感器的工作原理和结构 由式(4.1)可知，电容式传感器分为三种类型 ①变极距型。A和er不变，改变d。可用于测量小位移。 ②变面积型。d及er不变，改变A(改变覆盖长度或宽度)。可用于测量较大线位移或角位移