S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(维护版)59讲解.docVIP

日立扫描电子显微镜（SEM）维护手册 S-4800 1、 每一个月检查冷却循环水，及时记录水面是否下降并补充。换水以及清洗过滤网（频率：1年1次以上） 2、 空气压缩机的维护（频率：半个月一次，1个月1次以上）压缩机内部排水 3、 机械泵、干泵的维护（频率：半年1次以上（机械泵），1年1次（油泵）） 机械泵：半年1次以上，当油雾收集器附着油液或有油烟时立即更换。当油的颜色变为茶色时或换油过了6个月时：停机→交换油→开机 油泵：1年1次，委托服务人员维护保养。 4、 烘烤与机械对中（频率：1年1次以上） 烘烤 1. 关闭电脑，前面板Display，和循环水。 2. 拧开X轴向的两个小螺丝，取下最上端的电磁罩 3. 松开电子枪的螺纹盖，取下电子枪套入左侧两个圆环处。注意手不要碰到电子枪内壳 4. 松开Y轴向两个螺丝，注意用手掩护防止螺丝往里掉。取下镜筒罩。 5. 拿烘烤装置围在镜筒上，并用专用帽子盖上，拧紧螺丝。 6. 把两根内加热线插入电子枪桶的两个X轴向的小凸起上，并整理好内外电线，使其不接触到加热部位，防止烧坏，并引到右侧后台的接线盖处。 7. 松开右侧后台的接线盖，分别插入内外线插槽，用螺丝拧紧接线盖。 8. 设置前面板，通常烘烤必须保证冷却6 Hour,加热时间可变，常用8小时,且外烘烤先启动，两个小时后内烘烤才启动。故可设Mode/Bake 闪动时按下select 0u 8( =out 8hour) In 6。此时转到后面板调整开关为Bake 开，Display 关，其他勿动。再回到前面板按下start。若无意外，烘烤设置成功，倒计时几秒后即开始。 判断烘烤是否成功开始标志： a) 按下start 后 无报警现象 b) 烘烤镜筒部位发热 c) IP1-3真空度下降，由E-7到E-6 简单版烘烤流程 拆下最上端电磁罩→拆下电子枪→ 取下镜筒罩→装上Outer加热器→ 装上Inner导线→把两队导线连接 到后面板→放置高温牌提醒→前面 板定时→开后面板总开关→开始烘 机械对中 1. 软件设置1KV，flash 记下电流值 2. 电子束光阑由1逆时针调到0，物镜可动光阑由3调到0 3. 软件菜单栏setup/column 下 聚光镜cond len1、 cond len2前面的勾去掉。（对话框 勿关） 4. 放入15mm空样品台，size 选15mm ，height选+1 ，z=8mm。加高压HV 5. 选软件Align/Beam Align可看到光斑，调节桌面操作版上的对比度（大一点）和亮度 （小点），使光斑轮廓较清晰。 6. 机械操作 a) 用大螺丝刀（调节灯丝合轴）使光斑居中，东北西南两螺丝是X方向，西北东南 是Y轴方向，通常一轴调节时先松螺丝，再同时拧紧螺丝。 b) 把电子束光阑顺时针调到1号，调节光阑壁上的两个旋钮 c) 物镜可动光阑顺时针调到3号，调节光阑壁上的两个旋钮 d) 勾上软件对话框len1,再调节4个小螺丝刀，最后拧紧 e) 再勾上len2，degauss（消磁）关闭对话框。 f) ABC一下，选频率2K，focus一下，先找到样品台上明显白色物质，调最小边两 个小螺丝，使画面不晃动，通常紧些较好。 g)?机械对中完毕，可进行实物测量。 紧急停电关机处理 紧急关机 在紧急情况下，按下红色EMERGENCY OFF按钮顺时针旋转到底，系统关机后，将各开关按钮拨至正常停机位置。 短时间关机： 退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。 S-4800长时间停机程序 1.先关闭HV和PC，然后关 闭DISPLAY，关闭STAGE； 2.将EVAC POWER 拨到O（OFF），等待30分钟（目 的：冷却物镜可动光栏）和5分钟（TMP关闭）， 真空系统（离子泵停下来后分子泵会停）停止。面板上显示有’P0FF’字样； 3.将IP1，IP2，IP3都拨到OFF档； 4.将关闭IP，EVAC，DISPLAY与OUTER BAKAE，然后关 掉MAIN breaker; 5停止循环 水机工作。 S-4800开机程序 1. 在操作台后面，先将MAIN breaker开关处于ON，（冲击电流会较大，可能跳闸， 只需按住小白色凸起在上拨开关）同时，一边手按住RESET； 2. 开IP，EVAC，DISPLAY； 3.将真空操作面板的IP1，IP2，IP3都拨到ON档；(若拨上开关后，上方对应的指示灯没亮，则打开左手侧侧面 板，拧开4个螺丝，把里边的IP对应保护开关拨到on，可试几次直至前面 板IP灯亮) 4. 将EVAC POWER 拨到ON，注：从抽真空到完成需1小时；然