像差检测光学测量解析.docVIP

§5-3象差测量 概述 光学系统成象质量的好坏，是最后评定此光学系统优劣的主要标准。 影响象质的因素有： 设计水平：校正象差的完善程度 加工水平：加工误差、装配误差、材料误差 杂光 几何象差与光学设计密切联系 误差测量与物光联系密切 §5-3-1 二次截面法（哈特曼法）测几何象差 1900—1904年由德国哈特曼提出，利用几何光学概念，找出这些光线经光学系统后的空间位置。 原理 用区域光阑将不同孔径的光分开 轴向象差 球差 区域光阑（哈特曼光阑） 小孔直径 ②位置色差 垂轴象差 象散 轴外球差曲线 场曲 慧差 子午慧差 C1G1=PA=RG2=a1 PB=PA+AB=a1+AB AB=-Kt= 弧矢慧差一般不测量（只在大视场时测量） 哈特曼法无法测畸变，因光轴无法确定，因而也不能测倍率色差。 测量装置及注意事项 装置：阿斯卡 光具座 调整及注意事项 平行光管小孔校正在物镜焦平面上，转臂在轴向位置 根据物镜相对孔径选择区域光阑小孔直径，一般Φ=（1/100~1/400）f小一些好，但太小衍射严重，光斑反而大。 使被测物镜光轴和平行光管光轴重合（光束法线转动物镜法） 确定E1位置，一般 确定曝光时间 测轴外象差时，使斜光束对称中心线和米字孔光阑中心孔重合，为此要纵向移动物镜，保证每一视场哈特曼光阑中心孔通过的光束通过被测物镜入瞳，同