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第五章、 半导体电子论 5.3 半导体中电子的费米统计分布 朱俊 微电子与固体电子学院 半导体的基本能带结构 本征半导体和杂质半导体 半导体中电子的费米统计分布 电导和霍耳效应 非平衡载流子 半导体电子论主要内容 PN结 MOS结构 异质结 Too much Limited time 半导体中电子的费米统计分布 O. 引言 一. 载流子的统计分布函数 二. 载流子浓度 三. 杂质激发 四. 本征激发 o. 引言 半导体——许多独特的物理性质 半导体中电子的状态及其运动特点 整流效应 光电导 效应 负电阻温度效应 光生伏特效应 霍尔效应 T =0 Ev Ec Eg o. 引言 Conduction Band Valence Band Conduction Band Valence Band T 0 本征激发 Conduction Band Valence Band ED EA 原子能级 能带 允带 禁带 允带 允带 禁带 回顾：半导体能带 T0 T0 杂质激发 在一定温度下，若没有其他外界作用，半导体中的导电电子和空穴是依靠电子的热激发作用而产生的 载流子产生 （本征激发、杂质电离） 载流子复合 热平衡 o. 引言 半导体的性质 (导电性…)？ 载流子浓度随温度变化的规律 如何计算热平衡载流子浓度 1. 允许的量子态按能量如何分布？ 2. 电子在允许的量子态中如何分布？ 半导体的导电性强烈地随温度而变化 载流子浓度随温度变化引起 Why？ 半导体中电子的费米统计分布 电子系统：服从费米-狄拉 克统计 但对金属和半导体，具体情况不同—— 在金属中，电子填充空带的部分形成导带，相应的费米能级位于导带中，EF以下能级几乎全满 对于半导体(掺杂不太多)，热平衡下，施主电子激发到导带中，同时价带中还有少量的空穴 费米能级位于带隙之中 EF-EvkBT， Ec-EFkBT 一、 载流子的统计分布 EF 半导体 导体 EF Ev Ec (1) 电子在导带各能级分布的几率 ——导带中的电子接近经典玻耳兹曼分布 ——导带中每个能级上电子的平均占据数很小 对导带中的电子，有： E -EF Ec -EF kBT 一般地： 则 一、 载流子的统计分布 (2)价带中空穴占据的几率——能级不被电子占据的几率 —— 空穴占据状态的E越低(电子的能量)，空穴的能量越高，空穴平均占据数越小(电子占据数越大) 一、 载流子的统计分布 对价带中的电子，有： EF -E EF-Ev kBT 则 ——半导体中的导带能级和价带能级远离费米能量 ——导带接近于空的，满带接近于充满 一、 载流子的统计分布 0 1/2 1 电子在允许的量子态中如何分布？ ? 二、 载流子浓度 (1) 能态密度 把周期场的影响概括成有效质量的变化——有效质量近似 导带底附近的电子和价带顶附近的空穴可以用简单的有效质量mn*和mp*描述，则可直接 引用自由电子能态密度公式 导带底附近： 价带顶附近： ? ？ 允许的量子态按能量如何分布 ? (2)导带中电子的浓度 二、 载流子浓度 令 —— 有效能级密度 (2)导带中电子的浓度 二、 载流子浓度 导带电子浓度 —— 单位体积中导电电子数就是如同导带底 Ec 处的 Nc个能级所应含有的电子数 (2)导带中电子的浓度 二、 载流子浓度 空穴浓度 (3)价带中空穴的浓度 二、 载流子浓度 得 —— 单位体积中价带空穴数就是如同价带顶 Ev 处的 Nv个能级所应含有的空穴数 价带顶附近有效能级密度 把费米能级的位置和载流子浓度很简单地联系了起来 (4)费米能级 二、 载流子浓度 两式相乘消去EF： ——温度不变，导带中电子越多，空穴越少， 反之亦然 二、 载流子浓度 至此，我们获得了载流子浓度随温度变化的一般规律。 下面讨论一些具体情况下的热平衡载流子浓度。 三、 杂质激发－掺杂半导体的载流子浓度 如果N型半导体主要含有一种施主，施主的能级: ED 施主的浓度: ND 足够低的温度下，