飞秒激光制备单晶硅表面微结构研究解析.docVIP

 摘要 (SEM)和分光光度计分别对结构的形貌特征和光学特性进行了测量。结果表明：采用底角为2o的四棱锥镜相位形成四光束干涉，并通过10×物镜聚焦，在激光功率25 mW，曝光时间30 s时，可以形成间距约为3.3 μm的密排凹坑微结构；所形成的凹坑结构具有良好的减反效果，对1.2 μm-2 μm近红外波段的透过率相对抛光硅平均提高了11.5%。最后对所做工作的详细总结，分析了工作中取得的成绩和需要改进之处，并提出了本课题有待于进一步深入研究的问题。ABSTRACT The fabrication of surface micro-structure has many interesting applications, such as the changes of the material surface color, hydrophobic properties and surface roughness. The most important applications, for silicon surface micro-structure, are the change of the optical properties. In this paper, we summarize the ways to form surface micro-structure, deta