单光栅和双光栅衍射角度检测对比分析.pdfVIP

43 卷 5 期 红外与激光工程 2014 年5 月 Vol.43 No.5 Infrared and Laser Engineering May 2014 单光栅与双光栅衍射角度检测对比分析 1 2 2,3 母一宁 ，李 平 ，王 贺 （1. 长春理工大学 理学院, 吉林 长春 130022 ； 2. 长春理工大学 计算机科学学院, 吉林 长春 130022 ； 3. 吉林交通职业技术学院电子工程系, 吉林 长春 130022 ） 摘 要 光栅副是增量式光电编码器最主要组成部分，它的结构和衍射效应直接与检测精度相关。文中深 。从 入地分析了单光栅与双光栅衍射特点，并且从空间调制模型的角度推导光栅副对莫尔条纹的影响 宏观 和微观两个角度分析光栅副的屏函数，研究莫尔条纹光电信号输出波形的不确定原因和反差对比度，进而 证明单光栅测量可以减少输出信号的频率成分，获得较高的细分精度和反差对比度。为了证明单光栅角度 检测的可行性，给出了一套完整的单光栅角度检测方法。 ； ； 关键词 增量式 光栅副 莫尔条纹 中图分类号 TN929.1 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2014)05-1616-05 Comparison analysis of single-grating diffraction and double- grating diffraction angle detection 1 2 2,3 Mu Yining 袁Li Ping 袁Wang He (1. School of Science , Changchun University of Sc ience and Technology , Changchun 130022, China; 2. College of Computer Science Technology , Changchun University of Science and Technology , Changchun 130022, China; 3. Department of Electronic Engineering , Jilin Vocational and Technical Institute of Communication, Changchun 130022, China) Abstract: Grating pair is the most important component of increment encoder, its structure and diffraction effcet are directly related to detection precision. The paper deeply analysed that the characteristics of diffracti