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传感器与检测技术 共40学时讲授 主讲：章洁 课程任务 课程内容 第1章 绪论 本课程的涵盖内容 传感器 经典及新型传感器的基本特性，工作原理及应用。 检测技术 参数检测，微弱信号检测，软测量，多传感器数据融合，测量不确定度与回归分析等 检测系统 虚拟仪器与自动检测系统等 自动检测技术的重要性 测试手段就是仪器仪表。 在工程上所要测量的参数大多数为非电量，促使人们用电测的方法来研究非电量，即研究用电测的方法测量非电量的仪器仪表，研究如何能正确和快速地测得非电量的技术。 非电量电测量技术优点： 测量精度高、反应速度快、能自动连续地进行测量、可以进行遥测、便于自动记录、可以与计算机联结进行数据处理、可采用微处理器做成智能仪表、能实现自动检测与转换等。 检测（Detection）定义： 利用各种物理、化学效应，选择合适的方法与装置，将生产、科研、生活等各方面的有关信息通过检查与测量的方法，赋予定性或定量结果的过程称为检测技术。 1.检测技术在国民经济中的地位和作用 自动检测系统的组成 传感器：把被测非电量转换成为与之有确定对应关系，且便于应用的某些物理量（通常为电量）的测量装置。 测量电路：把传感器输出的变量变换成电压或电流信号，使之能在输出单元的指示仪上指示或记录仪上记录；或者能够作为控制系统的检测或反馈信号。 输出单元：指示仪、记录仪、累加器、报警器、数据处理电路等。 常用显示器：模拟/数字显示、图象显示及记录仪等 自动检测技术的发展趋势 （1）不断提高仪器的性能、可靠性，扩大应用范围。 （2）开发新型传感器。 （3）开发传感器的新型敏感元件材料和采用新的加工工艺。 （4）微电子技术、微型计算机技术、现场总线技术与仪器仪表和传感器的结合，构成新一代智能化测试系统，使测量精度、自动化水平进一步提高。 （5）研究集成化、多功能和智能化传感器或测试系统。 提高测量精度 将量程切换到2V时，最小显示值为1μV 采用计算机技术，使检测技术智能化 发展网络化传感器及检测系统 1.2 传感器定义与组成 1.2.1 传感器的定义 1.2.2 传感器的组成 1.2.1 传感器的定义 根据中华人民共和国国家标准（GB7665-87） 传感器（Transducer/Sensor）：能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件和装置。 包含的概念： ① 传感器是测量装置，能完成检测任务； ② 它的输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等； ③ 它的输出量是某种物理量，这种量要便于传输、转换、处理、显示等等，这种量可以是气、光、电量，但主要是电量； ④ 输出输入有对应关系，且应有一定的精确程度。 1.2.2传感器的组成 敏感元件 直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的物理量转换元件 敏感元件的输出就是它的输入，转换成电路参量 转换电路 上述电路参数接入基本转换电路，便可转换成电量输出 1.3 传感器分类 测量误差与数据处理 测量误差的概念和分类 精度 测量误差的表示方法 随机误差 系统误差 粗大误差 数据处理的基本方法 工作机理：物理型、化学型、生物型 物理型传感器：物理基础的基本定律。 场的定律、物质定律、守恒定律和统计定律 构成原理 结构型:物理学中场的定律 物性型:物质定律 能量转换 能量控制型 能量转换型 物理原理 用 途： 位移、压力、振动、温度 传感器的分类 电容式、电感式、热电式传感器 位移、速度、温度传感器 分类方法 按输入物理量： 按工作原理： 按能量关系： 按输出信号性质： 按构成原理： 按构成传感器的功能材料： 按高新技术： 能量转换型（有源传感器） 能量控制型（无源传感器） 模拟式、数字式传感器 结构型、物性型传感器 半导体传感器 集成传感器、智能传感器 仿生传感器、机器人传感器 人类文明史与传感器 1 .4 传感器的发展方向 新理论的探讨、新技术的应用、新材料和新工艺的研究 2、确保传感器的可靠性，延长其使用寿命 1、努力实现传感器的新特性 检测范围宽、高灵敏度、高精度、响应速度快、 互换性好 3、提高集成化和功能化程度 信息处理功能一体化：敏感元件、电路、执行机构 传感器功能和信息处理功能一体化 4、微型化 微机电系统 MEMS（Microelectro-mechanical System） 轮廓尺寸在毫米量级、元件尺寸在微米量级、 可运动的微型机电装置。 微型集成传感器：力、压力、加速度、化学传感器 集成电路：微型的齿轮、电机、泵、阀门、 悬臂梁、光学镜片 —— 执行机构 —— 借助集成电路的制造技术来制造机械装置 5、新型功