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另个一种办法是用薄的空气喷射装置
另个一种办法是用薄的空气喷射装置隔离超清洁区域,这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺?它的功能类似于塑料门帘?
3. 空气过滤?花费因素变量:-0.032至0.10
采用未端HEPA过滤器对空气进行过滤,0.3到0.5微米的去除效率为99.99%,0.12微米的去除效率为99.999%;若使用ULPA过滤器,0.12微米的去除效率为99.99995%?
根据洁净室外的用途,也可以选择其他的设备,例如,在循环风加新风处理系统中,使用HEPA过滤器用碳吸附或相似功能的合成过滤器处理VOC,静电过滤箱,等等?
在洁净室市场上,风机过滤不再是新产品,正确的应用它可以为许多高水平洁净室提供卓越的?经济的解决方案,尤其是在吊顶高度有限的建筑内?已证明降低成本和减小过滤器的压降(在洁净室寿命期内,使用低等级过滤器,长时间采用高压降方式运转,所带来的效益并不总是十分明显)?
4. 空气处理器?花费因素变量:-0.07至0.15
新风处理空调箱[Make-up AHU s]?典型的新风处理空调箱(初级AHU s)为循环风空调箱(二级AHU s)提供必需的新风?新风由离心排风机?轴流或plug风机加上过滤器?预热和再热用热水盘管?冷却和除湿使用的冷冻水盘管?蒸汽和绝热加湿器等组成?附件和差异包括静电空气混合器?蒸汽预热盘管?超声波加湿器?盐水?除湿用的直接交换[Dx]或乙二醇低温冷冻盘管?VOC吸附过滤器?噪声衰减器,VFP(变频)驱动等?
最近12年,MI传热产品公司(位于米西所加,网址:)成功地研制和生产了非常经济?可靠的风机系统?这些系统工作起来非常安静,并且消耗的能源很低,通常比离心式或plug风机系统能耗少20%?
新风处理空调箱通道是将空气注入集管,再通过支管系统给循环风空调箱提供新风?在初级和二级风管上进行空气测量,并调节送风机?VFD或进口风阀以便恒定风量?Magnahelic讲量器临测安装在各个空调箱内HEPA过滤器布袋过滤器和预过滤器的荷载?有吊顶风机过滤器的情况下,新风处理空调箱出来的空气进入循环风空调箱再送出?
循环风空调箱(Recirculation AHU s)?典型的循环风空调箱由高效离心式风机?过滤器和湿热(干)冷盘管组成?附加和差异包括用于局部温度控制的再热盘管?用于局部湿度控制的蒸汽或超声波加湿器?风量恒定控制箱?这种采用Whisper-Air and Compac Space 风机系统的方式提供了一种节约成本和充分使用能源的选择?
多重循环风空调箱通过送风管,再经过ULPA过滤器或HEPA过滤器,将空气送入洁净室,在洁净度等级为10级和1级的洁净间的吊顶上,这些过滤器通常是100%覆盖?垂直单向气流向下通过洁净间,穿过带孔的架空地板砖进入地板下面的回风空间,再通过垂直回风夹道向上进入吊顶回风静压箱?然后 ,空气再次进入循环风空调箱,以上的空气循环再次重复?如果是使用吊顶风机过滤器,在风机过滤器上面的吊顶空间时,可以安装水或直接交换冷却[DX-cooled]风机盘管实现表面冷却?
5. 空气压差?花费因素变量:-0.041至0.08
洁净室增压是必须的,它的作用是确保洁净室远离其临近区域的污染,控制有害污染物的流向,防止不同区域间的交叉污染,并帮助保持所要求的温度和湿度水平?
洁净室与相关走廊?设施内的其他区域的压差应维持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之间?一般制药企业所要求的压差值比这更高,在不同区域之间采用层叠压差来避免交叉污染?在不同的区域间安装一系列的层叠式气闸和允许空气快速扩散的正压门,从而产生压差?好的微电子洁净室设计中,通常在洁净室的入口安装一个半密封的气闸来使压差保持在0.02到0?005in.w.g.之间?更衣间和穿衣间用气闸分离?入口入的机械风淋相对于它的必要性而言,更是设施文化和洁净室的原则问题?
许多微电子和光刻洁净室成功地采用被动气压控制,只有在大门全部打开的情况下,入口处的风量维持在每分钟50到100英尺?一些生物制药企业要求主动压差控制,采用补充新风的方式,自动补足通过门泄漏的空气(当门打开时)?
压差临测器用来完成这个任务,例如Henry G.Dietz公司的产品(长岛市,纽约;)?监视器可能被安装在洁净室外面,而在洁净室内有一个LED的显示器,该显示器带有一个声音报警装置和两个指示器,可以表示气压的正常与否?这种设备在生物制药洁净室中有生物限制要求的区域内通常用来测负压值,而在电子类洁净室内,通常用来检测负压值,而在电子类洁净室内,通常用来检测正压值?它带有数字压差显示器,显示的精确度是0.001 in.w.c.,测量压力值或真空度的范围是0.5 in.w.c
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