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Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2
微纳米测试技术
课程编号:12043
王海容
机械工程学院精密工程研究所
电话
email: whairong@mail.xjtu.edu.cn
西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所
Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2
1. 微纳米材料性能测试(力学等物理量)
2. 微纳器件几何信息量的测试技术
3. 微纳器件的静态性能测试
4. 微纳器件的静态性能测试
5. 微纳器件的动态性能测试
6. 超精密零件的微纳米测量
7. 纳米材料测试技术
8. 常用科学仪器原理和应用
西安交通大学精密工程研究所
Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2
目前方法
硬度、
a. 纳米压入法
弹性模量、 b. 微梁弯曲
屈服强度、 c. 鼓泡法
断裂性能、 d. 微拉伸法
e. 其它方法
疲劳
划痕实验、引拉法、剥离法、压痕法等
结合强度等
旋转指针法、基片弯曲法、谐振频率法、加载变形法、临界
应力
挠度法等
西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所
Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2
结合强度、应力测试方法
划痕实验、引拉法、剥离法、压
结合强度 痕法、推倒法、摩擦法、超声法、
离心法、接触疲劳法
残余应力 旋转指针法、基片弯曲法、谐振频率法、加载
变形法、临界挠度法等
西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所
Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2
结合强度测试方法
划痕实验
引拉法
剥离法
推倒法
摩擦法
超声法
离心法
接触疲劳法
等
西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所
Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2
划痕法 Normal load
Friction force
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