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Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2 微纳米测试技术 课程编号:12043 王海容 机械工程学院精密工程研究所 电话 email: whairong@mail.xjtu.edu.cn 西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所 Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2 1. 微纳米材料性能测试(力学等物理量) 2. 微纳器件几何信息量的测试技术 3. 微纳器件的静态性能测试 4. 微纳器件的静态性能测试 5. 微纳器件的动态性能测试 6. 超精密零件的微纳米测量 7. 纳米材料测试技术 8. 常用科学仪器原理和应用 西安交通大学精密工程研究所 Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2 目前方法 硬度、 a. 纳米压入法 弹性模量、 b. 微梁弯曲 屈服强度、 c. 鼓泡法 断裂性能、 d. 微拉伸法 e. 其它方法 疲劳 划痕实验、引拉法、剥离法、压痕法等 结合强度等 旋转指针法、基片弯曲法、谐振频率法、加载变形法、临界 应力 挠度法等 西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所 Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2 结合强度、应力测试方法 划痕实验、引拉法、剥离法、压 结合强度 痕法、推倒法、摩擦法、超声法、 离心法、接触疲劳法 残余应力 旋转指针法、基片弯曲法、谐振频率法、加载 变形法、临界挠度法等 西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所 Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2 结合强度测试方法 划痕实验 引拉法 剥离法 推倒法 摩擦法 超声法 离心法 接触疲劳法 等 西安交通大学精密工程与光学测试技术研究所 Testing methods for Micro/Nanotechnolgy-2 划痕法 Normal load Friction force

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