薄膜的性质要点.ppt

第九章：薄膜的性质 9—1 薄膜的力学性质 9—2 金属薄膜的电学性质 9—3 介质薄膜的电学性质 9—4 薄膜的光学性质 9—5半导体薄膜的性质 概述 由于薄膜材料的不同，各种薄膜(如金属膜、介质膜、半导体膜等)都有各自不同的性质。但力学性质则是各类薄膜都应具有的性质。因此，在本章中除了研究各种材料薄膜的特殊性质外，将薄膜的力学性质作为共性的内容进行讨论。 9—1 薄膜的力学性质 薄膜的力学性质中包括有附着性质、应力性质、张力性质、弹性性质和机械强度等。根据专业教学的要求，在本节中我们仅讨论附着性质和应力性质。 一、附着性质 1．附着现象 附着问题是制备薄膜时遇到的第一个问题。因为制备薄膜时首先考虑它是否能牢固地附着在基体上。否则薄膜的其它性质都无法进行研究。 准确地解释附着这个概念是比较困难的。从宏观角度看，附着就是薄膜和基体表面相互作用将薄膜粘附在基体上的一种现象。附着是与薄膜在基体上存在的耐久性及耐磨性有直接关系的重要概念。薄膜在基体上附着的牢固性因薄膜材料和基体材料的不同而不同。 薄膜附着的类型 电子显微分析表明，薄膜的附着可分为四种类型： （a）简单附着 （b）扩散附着 （c）通过中间层附着 （d）宏观效应附着等。 如图9—l所示 图9-l 附着的四种类型示意图 (a)简单附着： 是在薄膜和基体之间存在一个很清楚的分界面。这种附着是由两个接触面相互吸引形成的。当两个不相似或不相容的表面相互接触时就易形成这种附着。(如真空蒸镀) (b)扩散附着： 是由于在薄膜和基体之间互相扩散或溶解形成一个渐变的界面。用阴极溅射法制备的薄膜其附着性能比真空蒸发法较好，其中一个重要原因是从阴极靶上溅射出的粒子都有较大的动能。它们沉积到基体上时可发生较深的纵向扩散从而形成扩散附着。 (c)通过中间层的附着： 是在薄膜和基体之间形成一种化合物中间层，薄膜再通过这个中间层与基体间形成牢固的附着。这种中间层可能是一种化合物的薄层，也可能是含有多种化合物的薄层。其化合物可能是薄膜与基体两种材料形成的化合物，也可能是与真空室内环境气氛形成的化合物，或者两种情况都有。由于薄膜和基体之间有这样一个中间层， 所以两者之间形成的附着就没有单纯的界面。 (d)通过宏观效应的附着： 包括有机械锁合和双电层吸引。 机械锁合是一种宏观的机械作用。当基体表面比较粗糙，有各种微孔或微裂缝时，在薄膜形成过程中，入射到基体表面上的气相原子便进入到粗糙表面的各种缺陷、微孔或裂缝中形成这种宏观机械锁合。如果基体表面上各种微缺陷分布均匀适当，通过机械锁合作用可提高薄膜的附着性能。 双电层吸引(静电力)是由薄膜与基体间界面处形成双电层而产生吸引。因薄膜和基体两种材料的功函数不同，两者间发生电子转移在界面两边积累起电荷。这种吸引在能量上类似于范德华吸引。 2．附着机理 从微观方面研究认为，附着的机理是吸附。根据吸附能大小的不同，可分为物理吸附和化学吸附。 (a)物理吸附：范德华力吸附和静电力吸附。 范德华力是由两种物质互相极化产生的。 静电力是双电层吸引力。由于薄膜和基体材料的功函数不同，当两者相互接触时发生电荷转移。电荷层起着把薄膜与基体拉紧的作用。 因为在薄膜材料和基体材料中大部分都没有具有永久偶极矩的极性分子，所以定向力和诱导力的作用都很小。但这两种材料中却普遍存在着可产生瞬时偶极矩的原子，所以在原子与原子之间，材料与材料之间普遍存在着色散力。因此，在薄膜与基体之间的附着是普遍存在的范德华力中的色散力在起作用。 静电力就是前面说的双电层吸引力。由于薄膜和基体材料的功函数不同，当两者相互接触时发生电荷转移。电荷层起着把薄膜与基体拉紧的作用，其吸引能为： Es=?2?d/(2? ? ??0) …… (9-1) 式中?为单位面积上的电荷量， d是双电层(电荷层)厚度， ?和?0分别是基体和真空的介电常数。 理论计算表明，静电力的吸引能量与范德华力基本相近。 两者的差异表现在：范德华力是一种短程力，当吸附原子间的距离略有增大时，它便迅速趋向于零。因此靠范德华力来实现薄膜与基体的附着时，其附着性是较差的。 静电力则是一种长程力。即使薄膜和基体之间有微小位移，其吸引力也不会有较大变化。因此虽