第六章 在线检测与误差补偿技术讲义.pptVIP

主轴 溜板 压电陶瓷 单个螺距误差可减少89％ 精密丝杠螺距的误差补偿 * 6.3 微位移技术 微位移系统由微位移机构、检测装置和控制系统组成，为了实现小行程、高灵敏度和高精度的位移。 微位移机构是实现微位移的执行机构，其核心部分是微位移器件；检测装置是用来测量微位移的移动量及其精度，在闭环系统中作为反馈信号；控制系统用来控制整个系统的工作，通过控制策略实现需求的技术性能指标。 1）微进给 2）误差补偿 3）精密调整 一、微位移系统及应用 * 二、微位移机构的类型 * * 若步进电动机的输入位移为 ，微动工作台的输出位移为 ，两个弹簧的刚度分别为 、 ，则 三、典型微位移工作台 平行弹性导轨微位移工作台 * 电磁控制微位移工作台 * 放置于磁场中的材料发生尺寸和形状变化的现象—磁致伸缩效应。 磁致伸缩机构是利用铁磁材料在磁场的作用下产生微伸长运动来实现微位移的，改变磁场强度可控制伸长率，但铁磁材料在磁场的作用下，除了产生磁致伸缩外，还伴有发热伸长。 磁致伸缩微位移工作台 * 电介质在外电场的作用下，由于感应极化的作用而产生应变，其应变大小与电场强度的平方成正比，其应变方向与电场方向无关—电致伸缩效应。 电致伸缩材料：铌镁酸铅系列（PMN）、弛豫铁电体、双弛豫铁电体、PZT铁电陶瓷系列等。 电致伸缩器