jem2100f透過電子顕微鏡操作ガイド - k.hosei.ac.jp.pdfVIP

JEM2100F透過電子顕微鏡操作ガイド 201411/27 精密分析室 1 目次 電顕の始動 電圧の印加する 試料ホルダーの出し方 試料ホルダーの挿入 フイルムデータの入れ方 観察（結像系の軸あわせ） コンデンサーレンズ偏向コイルの調整 コンデンサーレンズ偏向コイルの調整２ 透過像観察のための調整 Z軸あわせ 結像系の軸合わせ対物レンズの粗調整 電圧軸の調整 電流軸の調整 対物レンズの非点補正 回折スポットの光軸調整 カメラでの撮影 照斜系の使い方 透過像の撮影 制限視野回折 暗視野像 STEM像の観察 収束電子線回折 極微小領域電子線回折 多重露出法 終了 フィルムの取り出し 装置の完全停止 停電からの復帰 各種ホルダー 各種データ 説明 左操作盤 説明 右操作盤 2 電顕の始動 これらの操作は通常は必要ありません （１）窒素ガスの弁を開く （２）ＴＥＭ本体の電源スイッチを押し 起動する （３）PCを起動する （４）ＴＥＭＳｅｒｖｅｒを起動する （５）ＴＥＭＣｏｎｔｒｏｌｌｅｒを起動する 目次に戻る 3 １．Nomalを押して200kVを印加 13分程度かかる 電圧を印加する 通常はここから 目次に戻る 4 試料ホルダーの出し方 （１）BEAMがOFFになっていることを確認 （２）対物絞りを外す （３）試料位置ＸＹＺが０、傾斜角ＸＹが０ を確認 （なっていなかったらStage Neutralをダブルクリック するかＦ６を押す） （４）ゴニオ下の緑ランプの点灯を確認 （５）試料ホルダーを止まるところまで引き、反時計方向に大きく 回し、さらに引き、反時計方向に少し回す。つぎに、 PUMP/AIRスイッチをAIR にし （スイッチは少し引っ張って切り替える） ２０秒待ちホルダーを引き出す 目次に戻る 5 試料ホルダーの挿入 （１）試料位置ＸＹＺが０、傾斜角ＸＹが０を確認 （２）試料ホルダーのＯリングにゴミがついていないことを確認 Ｏリングのグリスが乾いているときはグリスアップすること （専用の白いオイル状のもの） （３）試料ホルダーのガイドピン をゴニオメーターの溝に合 わせ、止まるところまで押し込み、PUMP/AIRスイッチ をPUMPにして予備排気をする（約５分間） 注：Ｂｅ二軸ホルダーを使用するときは一回目は３０分程度予備排気して下さい 大気中で保存してあるため真空が上がりません 目次に戻る 6 （４）ゴニオメーターの緑ランプがついたら（この状態で出来るだ け待てばＤＰで排気しているのでよい真空度になる） 試料ホルダーを時計方向に少し回し、 止まるところまで押し込み、さらに時計回りに 大きく回し、止まるところまで押し込む 注意 ２軸ホルダーはＸ軸が３５度、Ｙ軸が２０度まで傾斜できます（ホ ルダーによって異なります）超えると鏡筒と接触し警告ブザーが 鳴ります。 目次に戻る 7 フイル