钙钛矿型材料气敏性质的研究.pdfVIP

摘要 随着社会生产力的发展及广大人们生活水平的提高，气敏传感器得到了越来 越广泛的应用，半导体电阻式气敏传感器是目前应用最广泛的传感器之一。随着 对半导体氧化物气敏材料的深入研究，多元复合氧化物气敏材料渐渐引起了人们 的关注，成为目前的研究热点。 本课题采用采用共沉淀法制备了多元复合氧化物的前驱体，再通过两段高温 5Mn04，Lao7(Cao53Sr0．47Mn)o3，Lao33Ca067MnO 焙烧合成得到了分子式为La0．5Srl Lao sSr0．5CoO等钙钛矿氧化物，的复合氧化物，XKD图谱证明该复合氧化物为 单相结构，产物中没有杂相出现，SEM和粒度分析表明合成的材料粒度均一， 成讵态分布。该工艺结合了溶胶一凝胶法和固相法的优点，工艺简单，易于产业 化。 将焙烧后的材料通过PLD方法制备成气敏薄膜元件进行气敏测试。研究结 果表明：LaC003和Lao5Sro5C003材料对氢气、乙醇具有良好的灵敏度，但是对 于甲烷几乎没有表现出气敏性。这两种薄膜样品对H2的灵敏度随温度上升而增 大，这种趋势在200℃以上时进一步加剧。且Lao5Sro5C003对氢气的灵敏度比 LaC003高。LaC003