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先进制造科学基础  飞秒激光加工的特点与应用 摘要：飞秒激光加工技术是涉及机械、物理、光学、化学、材料等交叉学科领域的前沿技术，为精密微加工提供了一种全新的革命性技术，可用于制造微纳尺度的机电系统、光电器件、能源器件、传感器、执行器、流体系统、光纤通信系统、生物医疗/诊断仪器、未来单兵系统、纳米卫星、芯片实验室等，在核心电子器件、高端通用芯片和极大规模集成电路制造装备及成套工艺等“十二五”国家科技重大专项方面占有举足轻重的地位，也是目前国际的研究热点之一。本文主要从飞秒激光加工机理和应用方面的特点与优势，对飞秒激光加工技术进行调研分析与论述。 关键字：飞秒激光，超快，加工，应用 Abstract: Femtosecond laser processing technology ，involving mechanics, physics, optics, chemistry , material and other interdisciplinary fields, is an advanced technology and provides a new revolutionary technology for precision micro machining. It can be used in the manufacture of micro and nanoscale el