1309检测A3-结构型-电阻应变传感器教案分析.ppt

电位器式位移传感器的应用 电位器式位移传感器常用来测量几毫米到几十米的位移和几度到360度的角度。 其它电位器式传感器 3.3 电阻式传感器 传感器常用的技术性能指标 基本参数指标 环境参数指标 可靠性指标 其他指标 量程指标： 量程范围、过载能力… 灵敏度指标： 灵敏度、分辨力、满量程输出、输入输出阻抗… 精度指标： 精度、误差、线性、滞后、重复性、灵敏度、稳定性… 动态性能指标： 固有频率、阻尼比、时间常数、频率特性、稳定时间、超调量… 温度指标： 工作温度范围、温度误差、温漂、温度系数、热滞后等 抗振指标： 允许各向抗冲振的频率、振幅及加速度、冲振所引入的误差等 其它指标： 抗潮湿、抗介质腐蚀能力、抗电磁干扰… 工作寿命、平均无故障时间、保险期、疲劳性能、绝缘电阻、耐压及抗飞狐等 使用指标： 供电方式(交直流、频率、波形)、功率、各项分布参数、电压范围与稳定度… 结构指标： 外形尺寸、重量、壳体材质、结构特点等 安装连接指标：安装方式、馈线电缆等 其它电位器式传感器 3.3 电阻式传感器 传感器性能的基本要求： 1)高灵敏度、线性、抗干扰的稳定性(对噪声不敏感)、容易调节(校准简易) 2)高精度、高可靠性、无迟滞性、工作寿命长(耐用性) 3)高响应速率、可重复性、抗老化、抗环境影响(热、振动、酸、碱、空气、水、尘埃)的能力 4)选择性、安全性(传感器应是无污染的)、互换性、低成本 5)宽测量范围、小尺寸、重量轻和高强度、宽工作温度范围 其它电位器式传感器 3.3 电阻式传感器 提高传感器性能的技术途径 采用线性化技术 采用闭环技术 采用补偿和校正技术 采用差动技术 采用平均技术 零位法和微差法 集成化和智能化 抗干扰技术 稳定性处理技术…等 改善传感器性能 提高技术指标 其它电位器式传感器 3.3 电阻式传感器 传感器选用原则 选用传感器应考虑几个方面: (1)测试条件 (2)传感器性能 (3)使用条件 具体来讲，可以从以下几个方面考虑。 根据测量对象与测量环境确定传感器的类型 灵敏度的选择 频率响应特性 线性范围 稳定性 精度 3.3 电阻式传感器 思考: 检测系统数学模型(传递函数) 平衡/不平衡电桥 测量的概念 电桥在补偿误差中的作用 作业: 3.1、3.3、3.5、3.6、3.7 4.5，4.6，4.7 预习: 电容传感器、电路、特性 半导体应变片： 分为体型和扩散型两种。 体型：利用半导体材料的体电阻制成。 扩散型：在半导体材料的基片上利用集成电路工艺制成扩散型电阻。 由于半导体(如单晶硅)是各向异性材料，因此它的压阻效应不仅与掺杂浓度、温度和材料类型有关，还与晶向有关(即对晶体的不同方向上施加力时，其电阻的变化方式不同)。 3.1 电阻应变式传感器 半导体应变片的特性（与金属应变片相比较)： 优点： ?? 灵敏度高； ?? 机械滞后小、横向效应小、体积小、频响高； ?? 易于集成化 缺点： ?? 温度稳定性能差； ?? 灵敏度分散度大； ?? 较大应力作用下，非线性误差大； ?? 机械强度低 3.1 电阻应变式传感器 薄膜应变片： 采用真空沉积或高频溅射等方法，在绝缘基片上形成厚度在0.1mm以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅——厚度大约为箔式应变片的十分之一以下。 优点：应变灵敏系数大，可靠性好，精度高，容易做成高阻抗的小型应变片，无迟滞和蠕变现象，具有良好的耐热性和冲击性能等。用化学气相淀积法制备薄膜，以其成膜温度低、可靠性好、系统简单等。 薄膜应变片是今后的发展趋势 愈大愈好吗？ 3.1 电阻应变式传感器 图4-6 动态特性？ 电阻应变片的主要(工作)参数： (1)应变片的电阻值 在室温条件下测定的电阻值(原始电阻值Ω)。应变片电阻值国内标准有60、120、350、600和1000Ω等各种阻值。其中以120、350Ω为最常使用。 (2)绝缘电阻 是指敏感栅与基底之间的电阻值，一般大于1010Ω (3)几何参数 敏感栅基长l和宽度b (4)允许电流 是指不因电流产生热量影响测量精度允许通过的最大电流。它与应变本身、试件、粘结剂和环镜等有关。要根据应变片的阻值和应用的电路等情况来计算。为了保证测量精度在静态时允许电流一般为25mA，但动态测量时允许电流可达75～100mA，箔式应变片允许电流较大。 此外，还有前述一些静、动态指标（灵敏系数、工作温度、应变极限、滞后、蠕变、疲劳寿命、横向应变…）都应考虑在内。 3.1 电阻应变式传感器 1、测量电桥 按电源性质分 直流电桥_只能测量R 交流电桥_可测量R/L/C变化。 R/L/C变化可以反映