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第8章 非光物理量的光电检测
2
问题
什么是非光物理量,如何用光去测量非光物理量?
答:不与光学量相关的物理量,比如长度、厚度、变形、速度、角度、质量等。
让非光物理量影响(调制)光学量,通过测量光学量的变化推算非光物理量的变化。
可以用哪些光学量的变化来表示?
3
本章的主要内容
8.1 光强型光电检测系统
8.2 脉冲型光电检测系统
8.3 相位型和频率型光电检测系统
8.4 利用物理光学原理的光电检测系统
8.5 其它光电检测系统
4
8.1 光强型光电检测系统
8.1.1 直接测量法
8.1.2 差动测量法
8.1.3 补偿测量法
8.1.4 补偿式轴径检测装置
8.1.5 利用比较法检测透明薄膜的厚度
8.1.6 利用α射线测量块规厚度的装置
8.1.7 圆形物体偏心度的光电检测
8.1.8 利用补偿法测量线材直径
8.1.9 对圆柱形零件的外观检查
本节主要包括以下几部分内容:
测量方法
测量实例
5
8.1.1 直接测量法
1. 直接测量法原理
将携带被检测物理量信息的光量,投射到光电探测器上转换为电信号,经放大后由检测机构直接读出待测量。
Rw为校正电阻,用以校正回路的灵敏度。
μA表为读出机构。
图8-1 直接测量电路
6
8.1.1 直接测量法
1. 直接测量法原理
当探测器处于线性工作区中,则有
图8-1 直接测量电路
式中,Φ为信号光通量;I为探测器产生的光电流;S为探测器的积分灵敏度;Ci为比例常数;a0为表针指零时的角度; a为输出电流I所对应指针的转角。
7
在检测回路中,重要特性是仪表指针的灵敏度Sy,可表示为:
灵敏度的概念:
如何提高灵敏度?
8
在上述检测回路中引入简单的晶体管或其它放大器。
图8-2 利用放大器提高灵敏度
仪表指针的灵敏度为
(8-2)
调整满度时对应的转角为a0,则有
式中,K为晶体管回路的放大倍数。
提高了K倍!使用放大器的原因!
( )
9
2. 系统相对误差和性能评定
设某检测关系为A=B·C/D,则增量间关系为
最大相对误差ε为
用上式分析直接测量法系统的最大相对误差为
10
2. 系统相对误差和性能评定
ΔK/K为放大系统放大率不稳定所引起的相对误差,它与放大电路中的电压波动,环境温度的变化,晶体管工作点的选择等参量变化有关;
ΔS/S为光电器件灵敏度的相对误差,它与探测器特性的不稳定性有关;
Δα/α为测量机械指示值的相对误差,它与机械结构不稳定性有关。
所以,直接测量方法虽然简单方便、价格低廉,但各环节误差直接加入总误差,受环境影响大!
有没有受环境影响小的解决方案?
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8.1.2 差动测量法
该方法采用被测量与标准量相比较,利用它们之间的差或比,经放大后的测量数据去控制检测机构。
图8-3 利用电差动原理进行光通量检测
1. 测量原理
无光照时,调节电桥平衡
有光照时,电桥失衡,发生偏转
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8.1.2 差动测量法
优点:差动方式,提高了测量灵敏度,减少了电压波动的影响和放大器零点漂移。
缺点:未能克服光源及光路上产生的波动或干扰
1. 测量原理
输入为零,输出偏移零,随时间缓慢变化
有没有解决办法?
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2. 光电差动装置
为进一步提高检测精度,消除不稳定因素对检测结果的影响,设计了由双光路和电桥组成的光电差动装置。
图8-4 双光路光电差动系统
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当两电路光通量相差较小时,光电探测器GD1和GD2的灵敏度分别为S1和S2,在线性段中它们近似为常数。于是GD1产生的光电流I1=S1Φ1,R1上产生的压降I1R1= S1Φ1R1 (GD1与R1相当于串联);GD2产生的光电流I2=S2Φ2,Rw上产生的压降I2Rw=S2Φ2Rw,所以电桥输出的电压U0为
如果S1=S2=S,Rw=R1则有
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设两探测器接收到光通量 ,且 = n。因电源电压波动等原因使光源输出光通量发生变化,在两光路上的光通量也将发生变化,其变化值为ΔΦ1和ΔΦ2,两者间关系为
变化量与光通量成正比变化。即两光束光通量分别为 和
光通量波动的影响分析:
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接收的光通量差为
原信号 因波动引起的误差
在有些电路中,采用两光通量比(除)的信号处理方法,光源波动的影响可以完全消除。设 , 则:
(8-9)
为完全消除光通量波动的影响,应调整两通道通量相同(两通道对称)!使n=1.
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