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现代半导体器 件物理与工艺 Physics and Technology of Modern Semiconductor Devices 最初的器件等比例缩小要求电压也减小，这就带来了器件的不稳定性问题，为了解决此问题，提出了修改的器件等比例缩小。 三种形式的器件等比例缩小 80年代后期-90年代初美国采取了一系列增强微电子技术创新和集成电路产业发展的措施，重新夺回领先地位。90年代以来美国经济保持持续高速增长主要得益于信息产业的发展，而其基础是集成电路产业与技术创新。 1985-1990年间世界半导体商品市场份额 日本公司 美国公司 51.4% 39% 50% 37.9% 两个列子 90年代日本经济萧条的同时，集成电路市场份额严重下降。 中国台湾地区 世界GDP增长与世界集成电路产业增长情况比较 （资料来源：ICE商业部） TI公司的技术创新，数字信号处理器（DSP）使它的利润率比诺基亚高出10个百分点。 中国IT企业与Intel公司利润的比较 对国家安全与国防建设的作用 在农业社会：大刀长矛等冷兵器； 在工业化社会：枪、炮等热兵器 信息化社会： IC成为武器的一个组成元，电子战、信息战。 美国国防部各类武器装备经费预算中的电子含量*(单位：%) 几乎所有的传统产业与微电子技术结合，用集成电路芯片进行智能改造，都可以使传统产业重新焕发青春； 全国各行业的风机、水泵的总耗电量约占了全国发电量的30%，仅仅对风机、水泵采用变频调速等电子技术进行改造，每年即可节电500 亿度以上，相当于三个葛洲坝电站的发电量(157亿度/年)； 固体照明工程，对白炽灯进行高效节能改造，并假设推广应用30%，所节省的电能相当于三座大亚弯核电站的发电量(139亿度/年)。 微电子对传统产业的渗透与带动作用 Internet基础设施 ☆ 各种各样的网络：电缆、光纤(光电子)、无线 ... 路由和交换技术：路由器、交换机、防火墙、网关 ... 终端设备：PC、NetPC、WebTV ... 网络基础软件：TCP/IP、DNS、LDAP、DCE ... Internet服务 信息服务: 极其大量的各种信息 交易服务: 高可靠、高保密 ... 计算服务: 网络 对信息社会的重要性 p-n结是半导体器件的关键基础 结构，其理论是半导体器件物 理的基础。可以形成p-n-p双极 型晶体管，形成p-n-p-n结构的 可控硅器件。 人类研究半导体器件已经超过125年，迄今大约有60种主要的器件以及100种和器件相关的变异器件。但所有这些器件均可由几种基本器件结构所组成。 金属-半导体用来做整流接触， 欧姆接触；利用整流接触当作 栅极、利用欧姆接触作漏极 (drain) 和源极(source)。 器件的基础结构 异质结是快速器件和光电 器件的关键构成要素。 用MOS结构当作栅极，再用两 个p-n结分别当作漏极和源极， 就可以制作出MOFET。 晶体管的发明 ‰ 1946年1月，Bell实验室正式成立半导体研究小组, W. Schokley， J. Bardeen、W. H. Brattain。 ‰ Bardeen提出了表面态理论， Schokley给出了实现放大器的基本设想， Brattain设计了实验。 ‰ 1947年12月23日，第一次观测到了具有放大作用的晶体管。 集成电路的发明 ‰ 1952年5月，英国科学家G. W. A. Dummer第一次提出了集成电路的设想。 ‰ 1958年以（德州仪器公司）TI的科学家基尔比(Clair Kilby)为首的研究小组研 制出了世界上第一块集成电路，并于1959年公布了该结果。 ‰ Intle公司德诺宜斯（Robert Noyce）同时间发明了IC的单晶制造概念。 ‰ 布朗(Braun)在1874年发现金属和金属硫化物(如铜铁矿，copper pyrite)接触的阻值和外加 电压的大小及方向有关。 ‰ 在1907年，朗德(Round)发现了电致发光效应(即发光二极管，1ight- emitting diode，LED)，观察到当在碳化硅晶体两端外加10V的电压时 ，晶体会发出淡黄色的光。 ‰ 1952年伊伯斯(Ebers)为复杂的开关器件—可控硅器件(thyristor)提出 了一个基本的模型。 ‰ 以硅p—n结制成的太阳能电池(solar cell)则在1954年被阕平(Chapin) 等人发明。太阳能电池是目前获得太阳能最主要的技术之一，它可以 将太阳光直接转换成电能。 ‰ 1957年，克罗马(Kro