薄膜物理与技术重点精要.docVIP

真空基础 薄膜的定义 真空如何定义（概念）？ 利用外力将一定密闭空间内的气体分子移走，使该空间内的气压小于 1 个大气压，则该空间内的气体的物理状态就被称为真空。 注意：真空，实际上指的是一种低压的、稀薄的气体状态，而不是指“没有任何物质存在”！ 真空的分类？真空区域划分？有哪些单位制？如何换算？ 真空可分为： 1 N＝105 dyne＝0.225 lbf 1 atm＝760 mmHg（torr）＝1.013×105 Pa＝1.013 bar 真空泵可分为哪两大类？简述包括的常用真空泵类型及其工作压强范围。 分析说明实用的真空抽气系统为什么往往需要多种真空组成复合抽气系统？ 从大气压力开始抽气，没有一种真空泵可以涵盖从1 atm到10-8 Pa的工作范围，， 真空与薄膜材料制备有何关系？ 几乎所有的现代薄膜材料制备都需要在真空或较低的气压条件下进行，。 薄膜沉积的物理方法 什么是物理气相沉积（PVD）？PVD镀膜的三个关键过程。 PVD的概念：在真空度较高的环境下，通过加热或高能粒子轰击的方法使源材料逸出沉积物质粒子（可以是原子、分子或离子），这些粒子在基片上沉积形成薄膜的技术。其技术关键在于：如何将源材料转变为气相粒子（而非CVD的化学反应）！ 在工程基于气相粒子发射方式不同而将PVD技术分为哪几类？ 简述真空蒸发镀膜。 在真空环境下，以各种加热方式赋予待蒸发源材料以热量，