第四章半导体材料技术分析.ppt

举例：酶FET 结构：大多数由以有机物所制作的敏感膜与HFET(氢离子场效应管)组成。 原理：进行测量时，由于酶的催化作用，使待侧的有机分子反应生成FET能够响应的离子，离子浓度变化引起栅极电位变化，通过测试漏极电流得出所需信号。 制法：去掉FET的栅极金属，在此处固定生物敏感膜，其表面一旦与若干水分溶化在一起时（称为水合作用），下式中的电位与氢离子浓度倒数的对数(即PH值)成比例。 气相色谱法 气相色谱法 移动相：气体 固定相 固体：气固色谱法 液体：气液色谱法 基本原理：由盛在管柱内的吸附剂或惰性固体上涂着液体的固定相和不断通过管柱的气体的流动相组成。将欲分离、分析的样品从管柱一端加入后，由于固定相对样品中各组分吸附或溶解能力不同，即各组分在固定相和流动相之间的分配系数有差别，当组分在两相中反复多次进行分配并随移动相向前移动时，各组分沿管柱运动的速度就不同。 气相色谱法 涉及到的若干问题： 1）气流系统：气体管路、控制阀门（减压阀、稳压阀）等？ 2）流动相选择：载气的选择与纯化的要求取决于所用的色谱柱、检测器和分析项目的要求？ 3）固定相：材料？宜按“相似性”原则选择固定液；分析非极性样品时用非极性固定液；分析强极性样品时用极性强的固定液。 涂覆工艺？厚度？均匀性？ 4）色谱柱工艺：MEMS工艺？图形？ 5）操作