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壓電驅動超精密定位平台 指導教授:黃世疇 教授 學 生:陳浴祥 精密定位的等級 精密定位是0.1~1μm的精度 超精密定位是0.001~0.1μm的精度 致動器 壓電致動器(PZT)的優點 撓性鉸鏈 * * 國 立 高 雄 用 應 科 技 大 學 背景 早期:顯微鏡(STM, AFM, …) 近期:高科技產業(半導體、光電、 精密量測檥器…) 本文是設計一個單層的撓性結構，完成能夠做XYΘz三自由度的精密定位平台。利用撓性鉸鏈為基礎的撓性結構配合積層式壓電致動器，通入電壓的大小使壓電材伸縮，以達到施力的目的，驅使結構產生精密微小變形(也就是材料的滑移現象)，進而到達奈米級的5nm位移解析度。 10 s 10-2kg/mm2 100μm 100㎜ 空氣壓缸 1 s 10kg/mm2 10?m 1000㎜ 油壓缸 1 ms 30kg 0.1?m 1㎜ 電磁致動器 0.1 ms 3kg/mm2 0.01?m 0.1㎜ 壓電致動器 響應速度 發生力 精度 振幅 種類 具有奈米級的解析度，響應頻寬可達到千赫等級，它擁有耗電量