85单晶炉标准操作规程.docVIP

85单晶炉 标准操作规程 单晶车间 说明 1．本规程目的： 学会正确操作直拉单晶炉，加强单晶车间的安全管理，保证工作质量，提高产量、成品率、降低成本、消除安全隐患。 2. 本规程内容： 本规程详细讲解直拉式单晶炉的操作方法及基础知识，以巩固所学操作知识及安全生产知识。 3．本规程的使用方法： 直拉单晶炉是生产电子、太阳能电池产品的原材料设备，具有较强的技术要求及严格工艺卫生要求的特点，因此操作者结合实际操作，根据本规程的讲解，能基本掌握单晶炉的操作方法。 4．适用对象： 全自动直拉单晶炉操作人员。 5．本规程特点： 基础知识与多年实践操作相结合，本规程的操作步骤全部经过实践、验证、正确无误。实用性强。 目录 准备工作 取晶和拆炉 安装石墨热场 装料 籽晶准备 抽真空 检漏 熔料 熔体温度稳定 10.缩颈 11.放肩 12.转肩 13.等径 14.晶体回熔与取出 15.收尾 16.冷却 17.石墨件的锻烧 18.单晶生产应急措施 19.交付  单晶炉操作工艺流程 热检漏→作业准备→取单晶→石墨件取出冷却→大罐清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→装料→装籽晶→抽空→检漏→压力化→熔料→引晶、缩颈→放肩→转肩→等径生长→收尾→停炉冷却 一．准备工作 1 目的：清楚本班的工作内容。 2 准备工作 2.1 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 2.2 接班后查看交接班记录本，了解设备前一周期运行情况，清楚本班工作内容，做到按时拆炉、装炉。 2.3准备拆炉工具及护具 2.3.1准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 2.3.2准备好防护手套、橡胶手套、无水乙醇、纱布、吸尘管、刷子等。 2.3.3准备好取晶车、石墨件舟车、装埚底料的不锈钢盆并处理干净。 2.4合理安排清炉时间，并在公司规定的时间的内完成清炉工作，为开炉工作做好准备。 2.5若在清炉过程中，发现异常情况，及时通知主操或者班长。更换石墨器件需通知班长，并做好工艺记录本备注栏做好相关记录。 2.6在清炉过程中，严格遵守公司7s管理要求，及时将埚底料和石英碎片归位。清炉完成之后，清理炉台附近卫生，并将工具和车辆归位。 二、取晶和拆炉 1.取晶体 1.1 拆炉时须穿戴好拆炉用工作服、戴好口罩。 1.2 拆炉充气前先看炉内真空度。 1.3先打开副室炉门锁紧把手，选择【控制面板】→【氩气/真空】→打开副室快速充气阀门，待充至大气压值时打开炉门，注意进气阀是否自动关闭。打开炉底两侧抽空管道的盲板，让抽气管道中氧化物燃烧，清除残余氧化物。 1.3.1选择【炉体控制】→【晶体提升】→按晶升快速上升键，使晶体上升至副室适当距离，关闭隔离阀。 1.3.2 按住控制柜上“副室升降”按钮，直到副室高出炉膛顶部碰到中途下限位开关，查看晶体是否可以通过上炉盖旋出，若能旋出，此时可向左拨动“副室旋转”开关，旋开副炉室（具备左旋行程限位保护），到合适位置时关闭“副室旋转”。（注意：1、旋开副室前必须察看籽晶位置，确认晶棒尾部尖端是否在上炉盖之上。2、防止被晶体烫伤。3、防止晶体剧烈晃动，以免掉落。4、副炉室旋转到位后必须关闭副室旋转开关。）））”填写： 5.1中途断线的晶体，根据实际断线长度填写“***长断线”。 5.2在收尾时断线的晶体，无论收尖否，均应填写“收尾断线”。 5.3只有收尖的晶体，才能填写“收尖”，并填写等径长度。 6.埚底料的回收： 6.1埚底料冷却后，及时放入专用埚底料盒内。 6.2须将埚底料按每炉次单独放置，并标识炉次（同单晶编号）、型号及电阻率。 11