半导体集成电路艺_复习.docVIP

第一次作业： 1，集成时代以什么来划分？列出每个时代的时间段及大致的集成规模。 答： 类 别 时 间 数字集成电路 模拟集成电路 MOS IC 双极IC SSI 1960s前期 ? ? MSI 1960s~1970s ? 100～500 30～100 LSI 1970s 500～2000 100～300 VLSI 1970s后期~1980s后期 2000 300 ULSI 1980s后期~1990s后期 ? ? ? GSI 1990s后期~20世纪初 ? ? ? SoC 20世纪以后 ? ? ? 2，什么是芯片的集成度？它最主要受什么因素的影响？ 答：集成度：单个芯片上集成的元件（管子）数。受芯片的关键尺寸的影响。 3，说明硅片与芯片的主要区别。 答：硅片是指由单晶生长，滚圆，切片及抛光等工序制成的硅圆薄片，是制造芯片的原料，用来提供加工芯片的基础材料；芯片是指在衬底上经多个工艺步骤加工出来的，最终具有永久可是图形并具有一定功能的单个集成电路硅片。 4，列出集成电路制造的五个主要步骤，并简要描述每一个步骤的主要功能。 答