第六章_机械工程测试技术-位移测量.pptVIP

* 机械工程测试技术基础 第六章 位移测量 第一节 概 述 第二节 常用的位移传感器 第三节 位移测量的应用 第六章 位移测量 第一节 概 述 位移测量是线位移和角位移测量的统称，测量时应根据具体的测量对象，来选择或设计测量系统。在组成系统的各环节中，传感器性能特点的差异对测量的影响最为突出，应给予特别注意。 在不同的场合下对位移测量的精度要求不同，位移参量本身的量值特征、频率特征的不同，自然地形成了多种多样的位移传感器及其相应的测量电路或系统。 第一节 概述 10-8rad 0°～360° 光电式 分辨率好、可靠性高 10-6rad 0°～360° 接触式 角度编 码器 ±0．5° 0°～360° 圆光栅 ? 数字式，测量精度高，适合大位移静动态测量，用于自动检测和数控机床 3μm／1m 10-3～几米 长光栅 计量 光栅 ? 数字式，结构简单、接长方便，适合大位移静动态测量，用于自动检测和数控机床 2．5μm/250mm 10-3～几米 感应同步器型 结构简单、动特性好、温度稳定性较差 ±0．5％ ±1．5mm 霍尔元件型 分辨力很好，但线性范围小，其他特点同变面积型 ±0．1％ 0．01～200μm 变间隙型 结构非常简单，动特性好，易受温度、湿度等因素的影响 ±0．005％ 10-3～100mm 变面积