微纳米检测技术01.pptVIP

* 针对微纳米和微系统技术领域的检测技术 * MEMS/NEMS LAB 微/纳米系统实验室 微/纳米系统实验室 MEMS/NEMS LAB 研究生课程：微纳米检测技术 机电学院 西北工业大学 邓进军 李晓莹 教材与参考书目 教材： 《微纳米测量技术》，王伯雄等编著，清华大学出版社，2006 参考书目： 《纳米科学与技术》，袁哲俊编著，哈尔滨工业大学出版社，2005 《微机电系统设计与制造》，莫锦秋等编著，化学工业出版社，2004 《微系统原理与技术》，傅建中等编著，机械工业出版社，2005 《检测技术与系统》，陈岭丽主编，清华大学出版社，2005 《传感器与测试技术》，李晓莹主编，高等教育出版社，2004 《机电工程智能检测技术与系统》，朱名铨等编著，高等教育出版社，2002 第一讲 绪论 微纳米尺度 微米：1μm ＝ 10-6m 纳米：1nm ＝ 10-9m 概述 微纳米技术 21世纪最重要的科学技术之一；将引起一场新的工业革命。 微纳米检测技术是微纳米技术的重要组成部分 微纳米技术－研究微观尺度的物体和现象； 微纳米检测技术也主要指微米和纳米尺度和精度的检测技术。 1.1 测量和测量系统 测量： 测量提供了有关物理变量和过程的现实状态的定量信息。 测量是对客观世界重新认识的工具，也是对任何理论和设计的最终检验。 测量是一切研究、设计和开发的基础，它的作用在工程中