实验一电容式传感器的位移实验课件.ppt

实验一 电容式传感器的位移实验 指导教师：杨倩 E-mail：yyqqq@cqut.edu.cn 实验目的 了解电容式传感器结构及其特点。 实验原理 电容式传感器是利用电容器的原理将被测非电量转换为电容量的变化，实现非电量到电量的转化。 应用：不但广泛的应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量而且可以用于压力、差压、液面、料面、成分含量等方面的测量。 电容式传感器的工作原理和结构形式 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为： 式中：εr —— 相对介电常数； ε0—— 真空中的介电常数，ε0=8.85×10-12 [F/m]； S —— 两极板间相互覆盖面积； d—— 两极板之间的距离。 当被测参数变化使得S、 d或ε发生变化时，电容量C也随之变化。电容式传感器可分为变间隙（极距）型、变面积型和变介电常数（介质）型三种。 变间隙（极距）型、变面积型和变介电常数（介质）型 变间隙（极距）型电容传感器 变极距型电容式传感器 当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，可知其初始电容量C0为 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有 若Δd/d01时，则展成级数： 此时C与Δd近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性关系。 灵敏度： 可见，要提高灵敏度，应减小d0。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。 灵敏度： 上述等式成立的条件是：Δd/d01时，高次项省略，若保留二次项，则有： 电容式传感器的相对非线性误差δ： 可见，要提高灵敏度，须减小起始间隙d0，但此时相对非线性误差δ增大。所以为使二者兼得，常采用差动式结构，即使其中一个电容器的电容C1随位移△d增加，而另一个电容器的电容C2则减小。 差动式结构 为提高灵敏度和线性度，克服电源电压、环境温度变化等外界条件影响，常采用差动式电容传感器 上下两极板是固定极板，中间极板是活动极板 未开始测量时将活动极板调整在中间位置，两边电容相等。测量时，中间极板向上或下平移，就会引起电容量的上增下减或反之。 当动极板向上位移Δδ时： 电容器C1的间隙δ1变为δ0–Δδ ；电容器C2的间隙δ2变为δ0+Δδ ； 则： 在Δδ /δ 0 1时，按级数展开： 电容值总的变化量为： 电容值相对变化量为： 若，只保留上式中的线性项和三次项, 电容式传感器的相对非线性误差θ为： 差动式电容传感器灵敏度是原来的2倍 零点附近的非线性误差大大降低。 变面积型电容式传感器 （1）线位移型 动极板沿定极板移动Δx，则电容量变化为： 式中；C0=ε0εr b a /d 为初始电容， 电容相对变化量为： 显然，ΔC与动极板位移Δx呈线性关系 （2）角位移型 当动极板产生角位移θ时, 与定极板间的有效覆盖面积改变, 两极板间的电容量改变。 当θ=0 时, 当θ≠0时, 则: 可见，电容的变化ΔC=-C0(θ/π)与角位移θ成线性关系。 （3）圆柱位移型 两只静极板电容器共享一个动极板，当动极板随被测物体移动时，两只电容器上下极板的有效面积一只增大，一只减小，将三个极板用导线引出，形成差动电容输出。 本实验采用的传感器为圆筒式变面积差动结构的电容式位移传感器，差动式一般优于单组(单边)式的传感器。它灵敏度高、线性范围宽、稳定性高。 二个圆筒和一个圆柱组成的。设圆筒的半径为R；圆柱的半径为r；圆柱的长为x，则电容量为C=ε2пｘ／ln(R／r)。图中C1、C2是差动连接，当图中的圆柱产生?X位移时，电容量的变化量为?C =C1－C2=ε2п2?X／ln(R／r)，式中ε2п、ln(R／r)为常数，说明?C与?X位移成正比，配上配套测量电路就能测量位移。 测量电路 测量电路画在实验模板的面板上。其电路的核心部分是二极管环路充放电电路 充电：当高频激励电压(ｆ100kHz)输入到ａ点，由低电平E1跃到高电 平E2时，电容CX1和CX2两端电压均由E1充到E2。 线路一：ａ点经D3到b点，再对CX1充电到O点(地) 线路二：ａ点经C4到c点，再经D5到d点对CX2充电到O点。此时，D4和 D6由于反偏置而截止。在t1充电时间内，由ａ到c点的电荷量为： Q1＝CX2(E2-E1) （1） 放电：当高频激励电压由高电平E2返回