第十三章--纳米测量学.ppt

三、质谱分析技术 1、基本概念 质谱分析法(Mass Spectrometry, MS)是在高真空系统中测定样品的分子离子及碎片离子质量，以确定样品相对分子质量及分子结构的方法。化合物分子受到电子流冲击后，形成的带正电荷分子离子及碎片离子，按照其质量m和电荷z的比值m/z(质荷比)大小依次排列而被记录下来的图谱，称为质谱。 2、特点 （1）应用范围广。测定样品可以是无机物，也可以是有机物。应用上可做化合物的结构分析、测定原子量与相对分子量、同位素分析、生产过程监测、环境监测、热力学与反应动力学、空间探测等。被分析的样品可以是气体和液体，也可以是固体。 （2）灵敏度高，样品用量少。 （3）分析速度快，并可实现多组分同时测定。 （4）与其它仪器相比，仪器结构复杂，价格昂贵，使用及维修比较困难。对样品有破坏性。 应用广泛的质谱分析技术 SIMS------二次离子质谱分析法 SNMS-----二次中子质谱分析法 LAMMA---激光显微质谱分析法 　　SIMS技术的优点是检测灵敏度高(在百万分之一至十亿分之二范围)，横向分辨率高达100--200nm(在特殊情形下可更小)。 　　SNMS技术应用于商用设备时，它的横向分辨率为100nm，但在个别情况下可达到10nm。 　　LAMMA技术的工艺通过激光照射将物体表面的粒子剥离下来，再用质谱分析表面成分，因此它在确定物体表面成分方面也