电容传感器剖析.pptVIP

2．消除和减小边缘效应 适当减小极间距，使电极直径或边长与间距比增大，可减小边缘效应影响，但易产生击穿并限制测量范围。电极应极薄使之与极间距相比很小，这样也可减小边缘电场影响。此外，可在结构上增设等位环来消除边缘效应。 带有等位环的平板电容 传感器结构原理图 均匀电场 1 2 3 3 边缘电场 边缘效应引起的非线性与变极距型电容式传感器原理上的非线性恰好相反，在一定程度上起了补偿作用。 * * 被测机械量?→电参数? 输出 力学量传感器的种类繁多，应用广泛，主要应用于测力、测压、称重、测位移、测加速度、测扭矩、测温度等检测系统。目前已成为生产过程检测以及实现生产自动化不可缺少的手段之一。主要种类如下： 测量电路 2. 力敏传感器 应变式传感器 电感式传感器 电容式传感器 压电式传感器 2.3? 电容式传感器 优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应快、易实现非接触测量等。 目前由于材料、工艺，特别是测量电路及集成电路技术等方面已达相当高的水平，寄生电容的影响问题得到较好解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。 原理：利用电容器将非电量转换成电容量变化, 进而实现非电量到电量的转化。实质：一个可变参数电容器