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定义Δrs为球差 其中：Cs—球差系数，通常电磁透镜的Cs相当于焦距， 约为1~3mm；α—孔径半角。 通过减小Cs和降低α来减小球差，尤其减小α可以显著降低Δrs。但无法像光学显微镜那样通过凸、凹透镜的组合设计来补偿或矫正 一个理想物点P 透镜球差 一个半径为Δrs漫散圆斑 3、电磁透镜的像差与分辨率 电子光学基础 （2）像散 像散——由于透镜磁场的非旋转对称(轴向不对称)引起的像差。极靴内孔不圆、上下极靴轴线错位、极靴材质不均匀以及周围的局部污染都会导致透镜的磁场产生椭圆度，使电子在不同方向上的聚焦能力出现差异。 3、电磁透镜的像差与分辨率 电子光学基础 3、电磁透镜的像差与分辨率 透镜磁场的这种非旋转性对称使它在不同方向上的聚焦能力出现差别，结果使成像物点P通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点 △rA表示像散的大小： △fA为像散引起的最大焦距差，称像散系数。 像散是可以消除的像差，可以通过引入一个强度和方位可调的矫正磁场来进行补偿。产生矫正磁场的装置叫消像散器。 （2）像散 一个理想物点P 透镜像散 一个半径为ΔrA漫散圆斑 电子光学基础 (3) 色差 色差—由于入射电子波长（或能量）的非单一性，从而在透镜磁场中运动轨迹不同，不能在一点聚焦而形成的像差 3、电磁透镜的像差与分辨率 电子光学基础 用ΔrC表示色散，得 CC—色差系数；（ΔE/E）—电子束能量变化率。 当CC、α一定时，电子的能量波动是影响ΔrC的主要因素。 引起电子能量波动的原因有两个： 其二，电子束照射样品时与样品相互作用，部分电子产生非弹性散射，能量发生变化。 其一，电子加速电压不稳，致使电子能量不同； 3、电磁透镜的像差与分辨率 (3) 色差 电子光学基础 综上所述，球差对分辨率影响最大且最难消除，其他像差通过采取适当的措施，基本可以消除。 对电磁透镜分辨率影响最大的只有球差和衍射效应。 比较上两式可知，孔径半角α对衍射效应的分辨率Δr0和球差造成的分辨率ΔrS的影响是相反的。 α↑→ 提高衍射分辨率Δr0， 大大降低球差ΔrS，因此必须两者兼顾。 3、电磁透镜的像差与分辨率 电子光学基础 令ΔrS= Δr0进行处理求得最佳孔径半角。 目前最佳电镜分辨率只能达到0.1nm。 3、电磁透镜的像差与分辨率 电子光学基础 TEM利用电子束穿过样品而成像，而任何样品都有一定厚度，在整个厚度范围内如何保证得到清晰图像？ 在观察和记录图像时，荧光屏和照相底片之间存在一定距离，如何保证在荧光屏上观察到的清晰图像同时能完整的被照相底片记录下来？ 4、电磁透镜的景深和焦长 电子光学基础 (1) 景深 原理上，当物镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与物平面理想吻合，在像平面上成理想清晰图像。任何偏离理想物平面的点都存在一定失焦，在像平面上产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。若失焦圆斑尺寸不超过衍射效应和像差引起的散焦斑尺寸，不会对分辨率产生影响，即不影响成像的清晰度。 景深—成像时，像平面不动（像距不变），在满足成像清晰的前提下，物平面沿轴线前后可移动的距离。 4、电磁透镜的景深和焦长 电子光学基础 A B A? 当物点位于O点时，电子在O?点聚焦，若像平面位于O?处，得到一个像点；当物点沿轴线移到A点时，聚焦点相应移到A?处，此时位于O?处的像平面上由一个像点逐渐变成一个散焦斑。如果衍射效应是决定透镜分辨率的控制因素，则散焦斑尺寸折算到物平面上只要不超过2Δr0，像平面上就能成一幅清晰的像。同理，当物点由O→B时，像平面上一个像点→一个散焦斑。只要斑点尺寸不超过2Δr0 ，像平面上得到的也是一幅清晰的像。 4、电磁透镜的景深和焦长 (1) 景深 电子光学基础 当像平面上的散焦斑不超过Δr0 ，物点由A→B都能成清晰的像。轴线上AB间的距离就是景深Df Δr0—透镜分辨率；α—孔径半角。由于α很小，通常电镜的景深很大。如果 Δr0 =1nm，α=10-2~10-3rad，则Df =200~2000nm。 4、电磁透镜的景深和焦长 (1) 景深 电子光学基础 (2) 焦长 原理上，当电磁透镜的焦距、物距一定时，像平面的一定轴向移动，也会引起失焦，得到一个具有一定尺寸的失焦圆斑。若失焦圆斑尺寸不超过衍射效应和像差引起的散焦斑尺寸，不会对分辨率产生影响，即不影响成像的清晰度。 焦长—物点固定不动（物距不变），在满足成像清晰的前提下，像平面沿轴线前后可移动的距离。 4、电磁透镜的景深和焦长 电子光学基础 当物点位于O点时，电子在O’点聚焦，若像平面位于O’处，得到一个像点；当像平面沿轴线前后移动时，像平面上由一个像点逐渐变成一个散焦斑，只要散焦斑尺寸不超过R0（折算到物平面上只