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- 2017-05-16 发布于湖北
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纳米薄膜的制备 薄膜的生长原理 概要 纳米薄膜材料的介绍 薄膜生长的基本原理 薄膜生长过程 1、岛状生长(Volmer-Weber)模式 : 在Ag原子到达衬底表面的最初阶段,Ag在衬底上先是形成了一些均匀、细小而且可以运动的原子团-“岛”。这些像液珠一样的小岛不断地接受新的沉积原子,并与其他的小岛合并而逐渐长大,而岛的数目则很快地达到饱和。在小岛合并过程进行的同时,空出来的衬底表面上又会形成新的小岛。这一小岛形成与合并的过程不断进行,直到孤立的小岛之间相互连接成片,最后只留下一些孤立的孔洞和沟道,后者不断被后沉积来的原子所填充。在空洞被填充的同时,形成了结构上连续的薄膜。 2、层状生长(Frank-van der Merwe)模式: 3、层状-岛状(Stranski-Krastanov)生长模式。 2、薄膜生长阶段 一旦大于临界核心尺寸的小岛形成,它接受新的原子而逐渐长大,而岛的数目则很快达到饱和。小岛像液珠一样互相合并而扩大,而空出的衬底表面上又形成了新的岛。形成与合并的过程不断进行,直到孤立的小岛之间相互连接成片,一些孤立的孔洞也逐渐被后沉积的原子所填充,最后形成薄膜。 核心形状的稳定性要求界面能之间满足: ? sv = ? fs + ? vf cos θ 成核自由能变化随新相核心半径的变化关系-类似自发成核,形成临界核心的临界自由能变化Δ
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