2013透射电镜原理.ppt

高分辨透射电子显微镜 透射电子显微镜发展的另一个表现是分辨率的不断提高。目前200KV透射电子显微镜的分辨率好于0.2nm，1000KV透射电子显微镜的分辨率达到0.1nm，可测定出分辨率约0.1nm的晶体结构。 透射电子显微镜分辨率的提高取决于电磁透镜的制造水平不断提高，球差系数逐渐下降；透射电子显微镜的加速电压不断提高，从80KV、100KV、120KV、200KV、300KV直到1000KV以上；为了获得高亮度且相干性好的照明源，电子枪由早期的发夹式钨灯丝，发展到LaB6单晶灯丝，现在又开发出场发射电子枪。 提高透射电子显微镜分辨率的关键在于物镜制造和上下极靴之间的间隙，由此产生了透射电子显微镜的另一个分支——高分辨透射电子显微镜（HREM）。 球差校正透射电镜 1990年Rose提出用六极校正器校正透镜像差得到无球差电子光学系统的方法。在CM200ST场发射枪200kV透射电镜上增加了这种六极校正器，研制成世界上第一台球差校正电子显微镜。分辨本领由0.24nm提高到0.4 A(埃)。 （双球差校正冷场发射枪透射电子显微镜） 中科院物理所最近购买了JEOL最新款的球差校正透射电镜，配置为物镜球差校正和聚光镜球差校正双球差系统，配置日本电子最新款的100平方毫米超大型电制冷能谱探头，是世界最顶级配置。 1A=0.1nm=10-10m (百亿分之一米) 1nm=0.0001um 1um=0.0001mm 1mm=0.0001m 球差矫正器电镜Cs corrector The combination of a round lens (objective lens) with positive spherical aberration and a non-round lens (corrector) with negative spherical aberration Can be used to to compensate the spherical aberration of the total imaging system (Cs=0) 功能的扩展 早期的透射电子显微镜功能主要是观察样品形貌，后来发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构，结合形貌和晶体结构原位观察的两个功能，是其它结构分析仪器（如光镜和X射线衍射仪）所不具备的。 透射电子显微镜增加附件后，其功能可以从原来的样品内部组织形貌观察（TEM）、原位的电子衍射分析（Diff），发展到可以进行原位的成分分析（能谱仪EDS、特征能量损失谱EELS）、表面形貌观察（二次电子像SED、背散射电子像BED）和透射扫描成像（STEM）。 透射电子显微镜的三维重构是透射电镜的发展方向之一 以前采用多重连续切片技术，费时费力、效果不佳。现在，可以利用高速CCD相机，新颖强大的专用软件、大顷角样品台和自动Z轴补偿功能，可自动获得倾斜过程时的连续图象，一方面可动态演示倾斜过程，便于观察了解样品信息，另一方面可通过三维重构模拟出样品的立体结构，并调整视角，观察到更详细的结构。 Cryo-TEM (冷冻电镜) * Cryo-specimen (冷冻样片制备) Cryo-transfer (冷冻转移) Cryo-imaging (数据收集) * Traditional TEM vs Cryo-TEM 传统切片 冷冻切片 分析型透射电子显微镜 Tecnai G2 Spirit: Integration (一体化) * 超高压电镜 这款液体样品杆是由美国protochips推出的，与传统样品杆不同的是它可对液体内的样品进行成像，只要将包含生物样品（例如生物大分子，超分子复合体等）的液滴直接滴在样品杆前端即可！不需要对样品进行冷冻，染色，切片等繁杂的制样手段，直接利用TEM质厚衬度和衍衬成像！成像分辨率高，更重要的是可得到样品在原溶液中的TEM图像，避免了样品在与外界接触中产生的缩水和变形！ END * * 透射电镜的主要部件---光阑 在透射电子显微镜中有许多固定光阑和可动光阑，它们的作用主要是挡掉发散的电子，保证电子束的相干性和照射区域。其中三种主要的可动光阑是第二聚光镜光阑，物镜光阑和选区光阑。光阑都用无磁性的金属（铂、钼等）制造。 （一）选区光阑 选区光阑又称场限光阑或视场光阑。 为了分析样品上的一个微小区域，应该在样品上放一个光阑，使电子束只能通过光阑限定的微区。 对这个微区进行衍射分析叫做选区衍射。由于样品上待分析的微区很小，一般是微米数量级。如果物镜的放大倍数是50倍，则一个直径等于50μm的光阑就可以选择样品上直径为1μm的区域。 选区光阑同样是用无磁性金属材