EDS技术与应用.pptVIP

能量色散X射线谱仪（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy） 周丽绘 当样品中原子的内层电子被入射电子束激发或电离后，内层电子被撞出电子壳层，形成空位，此时外层电子向内层跃迁，在跃迁过程中体系多余的能量以特征X射线光量子的形式释放。 能谱分析正是利用此特征X射线。 特征X射线信号的产生 能谱仪 能谱仪是利用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，检测和分析特征X射线的能量及强度，从而进行微区成分分析的一种仪器。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率的分析仪器。 能谱仪是电子显微镜的一个附件，它与电镜相结合，可以满足微区形貌、 组织结构和化学成分三位一体同位分析的需要。 EDS SEM-EDS TEM-EDS 能谱仪工作原理 利用不同元素X射线光子特征能量?E不同这一特点来进行成分分析的。 每一能量为?E的X光子相应地产生n对电子-空穴对，不同能量的X射线光子产生的电子-空穴对数目不同。 多道脉冲高度分析器 电子-空穴对 X射线光子 Si(Li)检测器 前置放大器 电流脉冲 主放大器 电压脉冲 电子束 积分 整形转换 转换 分类、计数、转换 不同能量X射线光子 能量