工程光学第4章形貌测量资料.ppt

1 4 评定粗糙度的基准线 1. 轮廓的算术平均偏差 Ra Rz——在一个取样长度 lr范围内，被评定廓的最大轮廓峰高 Rp与最大轮廓谷深 Rv之和的高度。 3. 轮廓单元的平均宽度RSm (三) 表面粗糙度的图样标注 第三章 形状和位置误差测量 §4-0 表面形貌的基本概念 §4-2 表面轮廓的非接触测量 §4-3 纳米表面形貌分析 §4-1 表面粗糙度的常规测量 §4-4 膜层厚度的测量 第四章 表面粗糙度及表面微观形貌测量 表面形貌 偶然性表面结构—— 重复性表面结构 表面缺陷 表面形状误差 表面波纹度 表面粗糙度 §4-0 表面形貌的基本概念 一、表面形貌的组成 表面粗糙度：零件表面所具有的微观高低不平。 λ10mm λ=1～10 λ1mm λ10mm 属于形状误差 λ=1～10 属于表面波度 λ1mm 属于表面粗糙度 §4-0 表面形貌的基本概念 表面形状误差、粗糙度以及波纹度之间并没有严格的界限，通常与加工工艺和工件尺寸有关。 （一） 表面粗糙度的术语与定义 1 实际表面与实际表面轮廓 实际表面是物体与周围介质分离的表面，由理想平面与实际表面相交所得的轮廓称为实际表面轮廓。 原始轮廓 波纹度轮廓 粗糙度轮廓 §4-0 表面形貌的基本概念 三、表面粗糙度 2 轮廓滤波器 轮廓滤波器是把轮廓分成长波和短波成分的滤波器，主要作用是区分粗糙度轮廓和波纹度轮廓。 轮廓滤波器按照波长可以分为λs 滤波器、λc 滤波器和λf 滤波器。 λs λc λf 波长λs λc波长λf λs 波长 λc §4-0 表面形貌的基本概念 3 取样长度 lr 和评定长度 ln 取样长度——测量表面粗糙度时，规定的一段足够短的长度，以限制或减弱波纹度对测量的影响。 lr取值系列：0.08、0.25、0.8、2.5、8 mm §4-0 表面形貌的基本概念 评定长度——连续的几个取样长度。目的是为了更可靠地反映表面粗糙度轮廓的特性 。 ln取值系列：0.4、1.25、4、12.5、 40 mm 在取样长度内，一条穿过轮廓且与轮廓走向一致的线段，也称为中线。 §4-0 表面形貌的基本概念 轮廓的算术平均中线： 中线与轮廓所包围的 面积上下相等 轮廓最小二乘中线 满足 ， 是唯一的一条线。 （二） 表面粗糙度的评定参数 Ra——在取样长度lr范围内，轮廓上各点至中线的纵坐标值 z(x ) 的绝对值的算术平均值。 x z i lr z(x ) §4-0 表面形貌的基本概念 2. 轮廓的 最大高度 Rz lr Rz Rp Rv z x Rz = Rp ＋ Rv §4-0 表面形貌的基本概念 lr z x xS1 xS2 xS3 xS4 xS5 xS6 xS7 轮廓单元：沿中线方向上一个轮廓峰与相邻轮廓谷的距离。 §4-0 表面形貌的基本概念 4. 轮廓支承长度率 Rmr 该参数可较好反映耐磨性 §4-0 表面形貌的基本概念 1.表面粗糙度的符号和代号 e d b c / f a a—幅度参数的允许值（μm） b—加工方法或其它表面处 理； c—取样长度（mm） d—加工纹理方向符号 e—加工余量（mm） f—间距参数值 或其他参数。 §4-0 表面形貌的基本概念 §4-1 表面粗糙度的常规测量 表面粗糙度的评定方法有两种： 定性评定是将待测表面和已知表面粗糙度级别的标准样板相比较，通过直接目测或借助于显微镜观察由人主观判别其级别，这叫粗糙度样板比较法。 定量评定是应用仪器测量评定的方法，通过数据处理得出待测表面的粗糙度参数值。目前，应用较广的表面粗糙度测量方法主要有光切法、干涉法和触针法等。 二、光切法 1.光切测量原理 光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法。它是将一束平行光带以一定角度投射到被测表面上，在高低不同的表面上反射。只要用测微读数装置测出h”和 S ’的刻度值，就可以根据下列公式算出表面不平的实际高度h和实际横向距离S的实际值。 §4-1 表面粗糙度的常规测量 2、光切显微镜 实现这种测量的仪器叫做光切显微镜（又称双管显微镜），它有照明管和观察管，两管轴线互成90o，照明管射出光带，以45o角的方向投射在工件表面上，形成一狭细光带，光带边缘的形状就是工件在45o截面上的表面形状。通过观察管目镜，可见到图中所示的视场图。 §4-1 表面粗糙度的常