流体静压支承对超精密金刚石车床动态特性影响研究.pdf

Classified Index: TG519.3 U.D.C: 621 Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering RESEARCH ON INFLUENCES OF HYDROSTATIC BEARING ON DYNAMIC CHARACTERISTICS OF ULTRA-PRECISION DIAMOND LATHE Candidate ： Hou Guoan Supervisor ： Prof. Sun Tao Academic Degree Applied for ： Doctor of Engineering Speciality ： Mechanical Manufacturing and Automation Affiliation ： School of Mechatronics Engineering Date of Defence ： June, 2013 Degree-Conferring-Institution ： Harbin Institute of Technology 摘 要 摘 要 超精密加工技术在现代国防和高新技术中占有重要地位，超精密金刚石车 床是实现超精密加工的重要设备。从加工的观点看，机床的作用是准确的控制 刀具和工件之间的位置，机床加工时使刀具和工件之间按预定的轨迹运动，以 获得所需要的工件表面。这需要超精密金刚石车床具有良好的动态性能。但是， 由于机床各部分的连接刚度是有限的，机床加工时刀具刀尖和工件之间的振动 是不可避免的。随着对加工精度的要求越来越高，机床本身的动态特性对加工 精度的影响越来越突出。机床的结合面是影响机床动态特性的主要因素。相比 普通机床，超精密机床的一大特点是大量采用流体静压支承，流体静压支承的 油膜或气膜作为超精密机床的结合面，它们的性能是影响超精密机床动态特性 的重要因素。因此，本文针对流体静压支承的性能及其对超精密金刚石车床动 态特性的影响进行研究。 首先，建立了考虑支撑面倾斜情况时液体静压导轨油腔流量公式和油膜厚 度表达式，以此为基础建立了超精密金刚石车床液体静压导轨的有限元计算模 型。根据该模型编制了计算程序，得到了导轨五自由度方向的刚度和角刚度， 并对其影响因素进行了研究。在分析气体静压主轴和液体静压导轨异同的基础 上建立了气体静压主轴的有限元模型，编制了计算程序，计算了主轴五自由度 方向的刚度和角刚度，分析了其影响因素。 分析了所设计的超精密机床的结构特征，依据拉格朗日方程建立了机床的 动力学方程，并对建立机床动力学方程所需的参数进行了辨识。通过实验辨识 了液体静压导轨和气体静压主轴各方向的刚度，验证了所建立的有限元模型的 正确性。通过实验辨识了液体静压导轨和气体静压主轴各方向的阻尼。建立了 直线电机直接驱动的液体静压导轨和分体式无框架力矩电机直接驱动的气体静 压主轴的控制系统模型，仿真得到了控制系统的刚度。 机床的动态特性用刀尖和工件之间的频率响应来表示。首先对机床进行了 模态分析，求解得到了机床的固有频率和振型。然后通过刀尖和工件处的响应 分析找出了对机床精度影响较大的固有频率和振型。研究了液体静压导轨和气 体静压主轴的刚度、角刚度和阻尼等参数的变化对其机床动态特性的影响规律。 为超精密机床的设计提供了理论依据。慢速刀具伺服加工和快速刀具伺服加工 是超精密机床常用的独特加工工艺，因此，研究了慢速刀具伺服加工时液体静 压导轨的运动特性，以及误差产生的原因和影响因素。建立了快速刀具伺服系 统的动力学模型，分析了快刀加工时由于自身的高频振动引起的误差大小及其 - I - 哈尔滨工业大学工学博士学位论文 影响规律，为误差补偿提供了理论依据。 最后，对超精密金刚石车床振动信号进行了测试，并开展了端面车削加