3第二章气体放电和低温等离子体讲述.ppt

。 * * 等离子体鞘层的形成：单位时间内，入射到器壁上单位面积的离子数和电子数，可以分别表示为四分之一倍的离子密度与离子速度的乘积、四分之一倍的电子密度与电子速度的乘积。在等离子体中离子密度与电子密度近似相等，而电子速度比离子速度大得多。所以器壁表面会因 过剩的电子而很快带负电。在器壁表面附近，入射离子与受电场减速的的入射电子处于平衡状态，并形成稳定电场。这种情况下，等离子体相对于器壁来讲，一般处于正电位。 * 辉光放电、射频放电、低气压弧光放电产生的等离子体均属于低温等离子体。这种等离子体中，电子能量相对较高，且因质量小， 运动速度较大，这些电子与气体分子进行非弹性碰撞，使气体电离，产生新电子继续维持放电过程。在大多数离子气相沉积中，一般 都是部分气体和金属原子被电子碰撞电离为离子。 随着气压升高，在弧光放电中，单位时间碰撞次数增加，电子与气体重粒子之间也会发生比较充分的动能交换，电子温度与离子温度、气体温度（中性粒子温度）逐渐趋于相等。则等离子体由非平衡态过渡到平衡态。 * 在薄膜技术中，所利用的几乎都是部分电离和弱电离等离子体，在这种等离子体中，只要电离度达到1%，其电导率就与完全电离等离子体相同。 * 电子亲合能与电离能相对应，元素的气态基态原子获得一个电子成为气态一价负离子所释放的能量称为该元素的第一电子亲合能，记为E1，简称电子亲合能（E），同样，也有第二、第三电子亲合能，记为E1，（E2、E3）等。元素的第一电子亲合能一般为正值，第二电子亲合能多为负值，因为一价负离子排斥外来电子，若再结合电子必须供给能量以克服电子的斥力。 电负性是元素的原子在化合物中吸引电子的能力的标度。元素的电负性越大，表示其原子在化合物中吸引电子的能力越强。又称为相对电负性，简称电负性，也叫电负度。电负性综合考虑了电离能和电子亲合能，首先由莱纳斯·卡尔·鲍林于1932年引入电负性的概念，用来表示两个不同原子间形成化学键时吸引电子能力的相对强弱，是元素的原子在分子中吸引共用电子的能力。 惰性气体和金属原子的子亲和力小，它们形成的负离子都是非常不稳定的。电子亲和力大的卤族元素及卤族元素化合物形成的 负离子稳定。 * 电气强度的定义: 击穿电压比上击穿样品的厚度等于样品的电气强度 . * 电子与正离子的二体复合一般情况下不可能发生。 三体碰撞复合中的第三物体可以是不断碰撞器壁的离子，也可以是气体原子等。气体原子参与三体碰撞的过程的几率随着压力的增加而增大。 * 复合过程产生的过剩能量以电磁波的形式辐射出。 * * * * * 复合过程产生的过剩能量以电磁波的形式辐射出。 * n是X处每单位面积的电子数目。dn是由n个电子碰撞电离产生的电子数 * 干燥气体通常是良好的绝缘体，但当气体中存在自由带电粒子时，它就气体放电 变为电的导体。这时如在气体中安置两个电极并加上电压，就有电流通过气体，这个现象称为气体放电。依气体压力、施加电压、电极形状、电源频率的不同，气体放电有多种多样的形式。主要的形式有暗放电、辉光放电[1]??、电弧放电[2]??、电晕放电[3]??、火花放电[4]??、高频放电等。20世纪70年代以来激光导引放电、电子束维持放电等新的放电形式，也日益受到人们的重视。 气体放电的基本物理过程 　气体放电总的过程由一些基本过程构成，这些基本过程是：激发、电离、消电离、迁移、扩散等。基本过程的相互制约决定放电的具体形式和性状。 * 但当正离子撞击阴极表面时却有可能引起表面电离而拉出电子，原因：金属表面逸出功小于电离能 * 气体介质在电场作用下发生碰撞电离而导致电极间贯穿性放电的现象。气体介质击穿与很多因素有关，其中主要的影响因素为作用电压、电极形状、气体的性质及状态等。气体介质击穿常见的有直流电压击穿、工频电压击穿、冲击电压击穿、高气压电击穿、高真空电击穿、负电性气体击穿。 * Pd较小时，即压强过低或者电极间距很小时，阴极发射的二次电子与气体分子没有发生碰撞就到达阳极，电离效率低，击穿电压较高。 如果压强过高，电子与气体分子碰撞频繁而损失了能量，电子在两次碰撞之间难以积累起足够使气体分子电离的能量，因此，击穿电压增大。 只有在适当的Pd乘积下，气体放电的击穿电压才最低。 * * * * * 关于气体电击穿机理的一种理论。由R.瑞特与J.M.米克于1937年提出。汤森理论奠定了气体放电的理论基础，但是随着气体放电研究的发展，有些现象只由汤森理论难以解释，例如放电发展的速度比碰撞电离快，放电通道是不均匀的而呈折线形状，因此需要寻求其他理论。流注理论就是在总结这些实验现象的基础上形成的。 * 气体介质在不均匀电场中的局部自持放电。最常见的一种气体放电形式。在曲率半径很小的尖端电极附近，由于局部电场强度超过气体的电离场强，使气体发生电