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小尺寸： 多样化： 微电子： 对MEMS进行振动测量主要是利用振动参数来对MEMS进行设计或者检测等，尤其是谐振频率、线性度、串扰比等等。 扫描隧道显微镜和原子力显微镜解决了原子级尺度的测量问题，但无法胜任MEMS在高频高速运动下的动力学特性测试。 激光测振仪可进行非接触式动态测量。 激光多普勒振动仪(Laser Doppler Vibrometer)是一类应用最广的非接触式无损测量设备，目前已具备纳米级的测量精度，在宏观结构和微型结构的动态测量方面都获得了广泛应用。 非接触式测量，无附加质量； 红色激光，安全可见； 光斑大小可调，10um； 激光测振仪原理 激光多普勒测振仪是基于光学干涉原理，也就是光强分别是I1和I2的两个相干光束相互重叠。其总光强不是简单的单独光强的相加而是根据以下称之为干涉条件的公式得出的Itot = I1 + I2 + 2√(I1I2)cos[2π(r1–r2)/λ]由于多普勒频移f=2v/λ,即f与速度(v)成正比变化。传感器获得的信号再经过频率电压转化为电压信号U,由于该转化为线性，即： U=k(F+f)+L=k*f+L‘ 其中L,L‘为常数，电压通过高通滤波去处直流分量得：U=k*f=2kv/ λ，则v=k*U， 电压与振动速度成正比。 实验概述 被测器件是一6*6的超声换能器阵列，阵列中的每一单元可单独操作，其基本结构是带有上下电极的压电薄膜，所有单元的下电极连在一起，上电极单独引出，在上下电极间加正弦激励信号可产生超声波，当接收到超声波时，上下电极间会有电信号。 实验概述 激光测振仪将直径小于30um的激光光斑汇聚于压电微超声换能器的每个单元上，由信号发生器对其进行激励，并由激光测振仪测量其振动量，实现了激光测振仪对微结构振动特性的非接触式测量，并给出了测量结果，包括谐振频率、信噪比、低压串扰等。 各系统组成及作用 激光测振仪：发出并收集测量光和参考光； 各系统组成及作用 激光测振仪控制箱：对采集到的光信号进行分析； 各系统组成及作用 影像测量仪：缩小光斑尺寸； 各系统组成及作用 数据采集卡：模拟信号转换成数字信号； 分析软件：进行数据分析； 显示屏：显示测量结果。 系统示意图 试验搭建 测试项目及测试结果 测试目的：找出器件的谐振频率 测试方法：将光斑定位在单元上电极的中心点，在单元的上下电极间加峰峰值4V的正弦电压，改变输入电压的频率，记录相应的振动速度或振幅，以便于绘制频响曲线。 测试项目及测试结果 测试目的：测量器件的信噪比 测试方法：将光斑定位在单元上电极的中心点,在单元的上下电极间加峰峰值4V的正弦电压,频率即为前面测试确定的谐振频率.记录振动的幅度,去除激励电压,再次记录振动的幅度,两次振幅的比值极为信噪比。 测试结果：加载前振幅：0.01um 加载后振幅：0.128um 信噪比：0.078125 测试项目及测试结果 测试目的：测量器件振动是否对周边单元产生影响 测试方法：在找到谐振频率后，在单元的上下电极间加峰峰值4V的正弦电压，频率即为前面测试确定的谐振频率。将光斑定位在紧邻此单元的其他单元上电极中心点上，测试毗邻的单元振幅的大小。两个单元（一个有电信号激励，一个没有）振幅的比值即为串扰比。 测试结果：加载单元振幅：0.015um 毗邻单元振幅：0.128um 串扰比：0.1171875 激光测振仪在微机械振动 测量中的应用 苏州舜新仪器有限公司 *清华大学 2011.9.26 赵婷婷 王宇峰* 宋云峰 1/27 MEMS简介 2/27 MEMS指可批量制作的，集微型传感器、微型结构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一起的微型器件或系统。它具有微型化、集成化、微电子化等主要特点。 MEMS已在信息技术外围设备、汽车、工业航空/航天发动机、消费电子、医药和生命科学、远程通讯等领域得到广泛应用。 MEMS简介 **由于尺度小，能够感受作用的面积极小；由于体积小而相对表 面积大，易受环境影响。 3/27 包含数字接口、自检、自调整和总线兼容功能，具备在网络中应用的基本条件，具有标准的输出，便于与系统集成在一起，且能按要求灵活的设计制造出多样化的MEMS； 采用MEMS工艺可以把不同功能、不同敏感方向或制动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列或其他更复杂的微系统。 体积小、质量轻、功耗低、惯性小 MEMS测量方法 4/27